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作者nightkid (固有結界：無限の劍製)
看板Physics
標題Re: [請益] 試列舉與說明測量蒸鍍薄膜厚度的方法?
時間Sun Mar 27 16:47:43 2011
1.石英震盪器(QCM) 這是目前想到最快速的方法 但是要把事情重做一次 利用一樣的條件做 但是這次不是度在基板上 而是度在QCM上 這樣就可以知道你度多厚 2.要不然就要用Auger搭配Argon ion bombardment 先把你做好的東西打一次Auger 知道你度上去的東西的訊號比例與基板的訊號比例 然後使用Argon ion bombardment打掉一層 再掃 就這樣一直反覆做下去 直到度上去的東西的比例降到一定的值 到可以宣稱他已經沒了為止 由此你可以知道有幾層 至於ion bombardment需要在多少的氣壓下、要多大的bias、 sample上要有多大的current、要多久 就是要你自己去想辦法估計出來的東西了 每個chamber能提供的不一樣 p.s. Auger使用的環境最好要有超高真空等級(P < 1E-7 torr) 一般我們使用Auger前 壓力都會維持在E-9、E-10 torr的等級 打開Auger後壓力會上升 而電子槍最怕壓力不好 ※ 引述《wind1025 (wind1025)》之銘言： : 大家好!前幾天做了實驗 : "高真空鍍膜機" : 在真空條件下通過加熱蒸發源,將待蒸發的熱穩性化合物加熱至高溫, : 使之揮發成蒸氣霧而噴敷在式樣表面,因而達到蒸鍍的目的! : 在載玻片上蒸鍍了鋁 : 實驗有一個問題就是要列舉與說明測量蒸鍍薄膜厚度的方法? : 我在想會不會可以用蒸鍍材料的重量和待鍍物的表面積占腔體橫切面積的比例 : 來求得? : 還是我根本就想錯了!需要以儀器測量? : 感謝回答! -- I am the bone of my paper. Pen is my body, and ink is my blood. I have finished over a thousand assignments. Unknown to pass. Nor known to fail. Have withstood pain to take many midterms. Yet, those hands will never write anything. So as I pray, Unlimited homeworks. -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 140.115.220.100 ※ 編輯: nightkid 來自: 140.115.220.100 (03/27 16:53)
推 jerry78424:我只想到切斷樣品用SEM掃截面....XD 03/27 16:50
→ nightkid:這也是一種方法 03/27 16:53
推 CIA007:1.光學監控, 2.SEM, TEM, HRTEM, STM 03/27 16:56
→ nightkid:不過SEM好像不能知道物種? 03/27 16:56
※ 編輯: nightkid 來自: 140.115.220.100 (03/27 16:58)
推 jerry78424:只能大致以導電性(亮暗)區分 03/27 17:05
→ nightkid:恩 似乎QCM 或 SEM是裡面最簡單的方法了 03/27 17:07
→ nightkid:但是如果要切開他的話 會不會造成太大的誤差呢... 03/27 17:21
→ yeahbo:最簡單且便宜是用酸把部分鋁蝕刻掉，再用 surface profiler 03/27 17:27
→ yeahbo:量厚度，有錢一點就用 AFM XD 03/27 17:28
推 jerry78424:半導體薄片1~2mm沒問題，載玻片的話....不知道XD 03/27 17:45
推 jerry78424:我覺得問題在上面的鋁很容易掉，我手上的紀念品就是... 03/27 17:48
推 Navarro:我想類似超音波探傷的技術應該有機會 03/27 20:11
推 greature:貼真空膠帶去蒸鍍，拿出來後撕掉去給厚度儀或 AFM 掃 03/27 20:19
→ Navarro:感覺薄薄一層用ion bombardment比較適合 03/27 20:22
推 wind1025:喔!感謝大家的回答!^^ 03/27 21:03
推 HJsalon:是不是用RBS測呀？wafer上的薄膜厚度好像是用RBS測厚度 03/27 23:22
→ hank780420:上禮拜上課聽到可以用x-ray refraction測膜的性質? 03/28 00:36
→ dancemoon:半導體薄膜可以用折射反射率去推膜厚，金屬膜就不曉得了 03/28 02:15
→ nightkid:是xray refraction 還是 defraction? 03/28 09:30
→ hank780420:反射啊 03/28 09:53
推 threedices:類似樓上greature,拿塊玻璃,用油性麥克筆畫幾條線 03/28 10:56
→ threedices:蒸鍍完後用acetone洗掉做lift off,然後用profilometer 03/28 10:57
→ dancemoon:反射跟折射其實都有耶~不過基板不透光就不能用折射了@@ 03/28 12:25
→ sneak: 半導體薄膜可以用折射反 https://muxiv.com 08/13 16:09
→ sneak: 最簡單且便宜是用酸把部 https://daxiv.com 09/17 14:08