[新聞] 機台拖累晶圓製程 統計模型有解

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http://www.chinatimes.com/realtimenews/20141119003920-260412

機台拖累晶圓製程 統計模型有解
2014年11月19日 16:14
中央社
半導體業是台灣高科技業的領頭羊，晶圓製程的良率更是產能的關鍵因素，中研院研究
員銀慶剛率領的研究團隊以統計模型找出「狗」機台，讓台積電製程不良率大幅下降。

銀慶剛說，台積電把良率高的機台稱為「黃金」機台，良率低的機台則為「狗」機台，
透過尋找資訊的相關性及排除虛假相關，就可篩選出有問題的「狗」機台，有效降低不
良率。

中央研究院統計研究所研究員銀慶剛是國內率先研究高維度迴歸模型的統計學家之一，
與中央研究院院士美國史丹福大學統計系教授黎子良「P大N小」的研究成果，2011年底
登上國際統計期刊Statistica Sinica的主要文章：黎子良目前正利用這套模型協助英特
爾公司。

銀慶剛解釋，晶圓製程要經過數千道關卡，需經大量機台加工，假設P為機台，N為晶圓
數量，在「P大N小」情況下，研究團隊挑戰在於如何利用少數晶圓成品，在大量的機台
中尋找出製程中關鍵的機台，等於是大海撈針，過程就像找出大明星的殺手一樣困難。

研究團隊之一的高雄大學統計學研究所副教授俞淑惠表示，利用台積電提供的數據，不
用進到現場，就可讓台積電尚未量產的晶圓製程不良率下降11%至14%，甚至停止使用可
能產生問題的機台，還可讓不良率下降至3%以內。 他舉例，如以400個晶片數及4000個
機台計算，經過1000次實驗，可成功抓出「狗」機台的次數為980次，但參數訊息的強度
也占有決定性因素。

銀慶剛指出，這套模型只要是牽涉到利用資訊尋找兇手，都可以運用上，如環保署、中
鋼等都表達興趣，正在洽談計畫案。1031119
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借新聞一問，大家工作中真的有在用高階的統計學嗎？

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※ 編輯: utn875 (114.42.235.75), 11/20/2014 01:04:38
推 MeiHS: 樓下PE就是打基高手
推 knowlife: 對中基台,又找不出問題,有屁用
→ YKM519: ...如果真的這麼威早就被GG買斷了吧
→ ljsnonocat2: 這不曉得是單純用統計的方式? 沒考慮layer製程特性?
噓 minnaQQQQQQQ: 喇叭
→ ljsnonocat2: 2F 找到機台 就禁掉阿  直到PE/EE能保證ok
→ hertzianwave: 推ljsnonocat2正解.....
推 q169: 聽到dog tool 就很有感覺了....leading 抓不完呀....
噓 juangpeiyi: 禁掉！？ 再壞一兩台就斷線了
→ juangpeiyi: 根本不需要他們統計  各設備課都更清楚
→ juangpeiyi: 哪些機台一堆pending issues 停機準備在
→ juangpeiyi: 生產會議被highlight 到死了 寧願衝高產能
→ juangpeiyi: cover 不良  也不會去把他停下
推 gogohc: 為什麼明明用加減乘除平均就可以分析的問題弄的這麼複雜
噓 saladim: 統計都用到晶片上的每個layer了...還在機台阿...
→ ljsnonocat2: PIE謎之心聲: 如果可能被客戶寫信過來嗨賴良率
→ ljsnonocat2: 我寧可讓PE/EE被嗨賴....XDDD
噓 TNRoy: 沒這麼威吧 不過就是把golden抓出來 SSSH往那邊塞就對了
→ knowlife: 6f 製造部不是吃肉的, 尤其台積風氣更扯,找不到原因
→ knowlife: OP HL 幾次就硬著頭皮放了
→ knowlife: PIE不了解FAB 生態..
推 amethystboy: 不是吃肉的很好啊 佛心來著的
→ Adrian: 先禁掉不然就是開新機台 沒時間讓你慢慢研究原因 Orz
推 osbsd1: 北七 抓dog tool 高中生來學操作一下報表就會了好嗎
→ osbsd1: 不過就是掃雷掃出golden path  這些都ETE在做的 無聊y
→ osbsd1: GG也真壞 提供一個已經嗨賴完的case數據 耍耍中研院好玩嗎
推 osbsd1: 反正現在都馬L/L當三餐在派 直接RUN過去 RUN多少算多少
→ osbsd1: 誰管你dog
推 shaneyeh: 我早就用統計算出下個月什麼股票會漲，抓狗？!
推 gogohc: 哪些機台爛問課長最準了。