[請益] 離子槍用於PVD設備

[shimizu (清水)]

請教一下
小弟最近剛接觸科技產業
拜訪一家在做光學鏡頭的公司 說是採用PVD設備 再搭配離子槍輔助
在玻璃上沉積

那一般半導體製程在晶圓的薄膜沉積 也會用到PVD
裡面也有離子槍嗎??

謝謝!!

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 1.175.178.3
※ 文章網址: http://www.ptt.cc/bbs/Tech_Job/M.1418400811.A.917.html
→ zhanren: 沒有
→ nick00233: http://www.books.com.tw/products/0010583142
推 id49528013: 離子槍好像也可以用在蒸鍍機？
→ pinkowa: 電漿<--- 濺鍍機
推 hmtsung: ion-Gun是助鍍用的，讓膜更結實，品質更好，不過要調參數
→ shimizu: 所以半導體製程PVD有ion-Gun嗎?? 有大大私底下回信說有
→ Swiss1003: 公司在南科嗎?
推 fffkinyo: 雷射蒸鍍