[問題] 關於CMOS製程的Passive Component的誤差估計

[tcloud (....)]

請教各位先進

我想利用不同的RC Delay製造45度的Phase Shifter

使用的是TSMC.18的RPO電阻(poly without silicide)與MIM Cap

現在想估計這兩種被動元件的絕對誤差量

遇到一個矛盾的地方

在Mixed signal的spice document裡寫Rsh=311+-46.65

但在RF spice document裡另外有一個叫Fitting error的東西

其Rpo電阻的Y parameter實部部分最多也只有1.3%的誤差

如果我現在使用的是TSMC提供好的Pcell來desgin

是不是只用管這個Fitting error即可呢?

謝謝

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.114.14.200
推 sovereignty:那個是做 model 的人的 fitting
→ sovereignty:是在講 model 的準確性，和這個製程變
→ sovereignty:異沒有關係，製程變異為機率分布，沒
→ sovereignty:有絕對。
推 tcloud:謝謝S大幫我解惑...謝謝