[討論] ICP蝕刻金屬

[kiouy1001 (阿比)]

本魯第一次來版上求助~
因為最近在做專題,是關於半導體製程
其中一項要用icp通cl2
但本魯最近翻了許多文獻
包括pt,Ti,Ni,Sio2,Au,Al...等,都沒有找到CL2比較不吃的金屬
因為是要用在Etch mask上
所以要找很硬,能阻擋cl2的
想請問強大的鄉名有知道甚麼特殊金屬嗎?




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推 skyghostlove: 若金屬只是做遮罩用,建議Ni金屬,我
→ skyghostlove: 之前在台大做ICP,拍SEM幾乎吃不動Ni
→ skyghostlove: ,重點是我是用sputter濺鍍Ni才行,
→ skyghostlove: e-gun的話有試過,但材質太軟,易被打
→ skyghostlove: 穿.希望能幫到你
→ skyghostlove: 之前做的材料是氮化鎵材質
→ skyghostlove: ICP則是用氬氣與氯氣混合氣體來吃