作者 funnyboy () 看板 P_Osemi
標題 蝕刻製程
時間 Fri Aug 18 00:46:00 2006
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以下後75％階段
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1. 配置顯影液
50克 碳酸鉀 K2CO3
1000克 水
基本上是重量百分濃度 5％ （這不是精確工業）
配兩杯 才夠用
2. 將顯影液倒至震盪器
3. 使用量杯時（量水量），先沖洗兩次以達清潔作用！
4. 顯影之樣品
深藍色：在UV光下曝光 光阻（即黏上之薄膜）保護ITO
淺綠色：被光罩阻擋而沒有曝光 為原光阻 將被顯影去除！
為負光阻！（有照光處留下）
附註： 曝完光後將樣品另一面的薄膜撕下 放在無塵紙上 且 用鋁箔紙覆蓋
盡量不要照到光
5. 顯影步驟---共90秒
a. 樣品擺放間距寬且較寬鬆的 Holder
b. 放進震盪器裡浸泡顯影液 並且開始計時
c. 微搖 使吃的完全
---『80秒』後 ---
d. 擺放至不斷進水之玻璃杯 並用DI槍沖洗
產生氣泡小 為碳酸鉀
如此先將殘留物先清洗一次！
e. 繼續浸泡顯影液
---『10秒』後 ---
f. 馬上再沖DI水以防繼續被吃 氣泡大表示為水泡
g. 以無塵紙快速擦乾
h. 檢查『有無淡綠色殘留』且『各區域確實分離』
有：擦掉 或是 再泡一下馬上拿起
此時樣品淡綠色部分已經為透明 ITO
附註： 分兩段浸泡單純為亦翔學長『經驗發現』之方法，號稱這樣比較好！
6. 隔水加熱 HCl
（煮酸鹼 請在外貼上 人名 溶液名 電話）
溫度在接近『50度』左右
7. 蝕刻條件時間要另外測！
a. 將測試樣品放進 『HCl杯』 60秒 或 55秒 或 50秒....
b. 拿出沖洗 『DI水』
c. 再泡 『NaOH』 剝落掉照過光的光阻膜
d. 沖 『DI水』 氮氣吹乾
e. 用電阻計測電阻！
同一區域：有阻值 代表有導通 OK！
相鄰兩區：無阻值 表示無窮大電阻 有隔離好 OK！
確實證實各相鄰區域皆無阻值！
8. 大量蝕刻---使用 Holder
重複上述 a b c d
其中 c 將 Holder 上的樣品們都倒進 NaOH 微微攪動 攪動不會破壞到ITO
其中 b 將 Holder 放進不斷進水的玻璃杯且用DI槍沖洗
9. 如此將所有完成品放在無塵紙上
10. 善後工作
a. 撕下適當大小鋁箔紙 覆蓋在一玻璃杯
b. 用筆尖在鋁箔紙上插洞
c. 進水『稀釋 NaOH』
d. 將『DI水杯』以及『NaOH杯』分別慢慢的倒進覆有鋁箔紙的玻璃杯中
如此將剝落的光阻們過濾出來
e. 最後將鋁箔紙包起來丟掉
附註： 此方法為烜逸學長發明，號稱有效率又快速便利！
不要在水槽裡外留下光阻膜...不然會被XX
f. 『HCl杯』先放一旁降溫 再用 DI槍 加水稀釋
開著水！倒邊邊！預防濺起來！
11.結束 吃飯！
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夫兵者不祥之器物或惡之故有道者不處君子居則貴左用兵則貴右兵者不祥之器非君子
之器不得已而用之恬淡為上勝而不美而美之者是樂殺人夫樂殺人者則不可得志於天下
矣吉事尚左凶事尚右偏將軍居左上將軍居右言以喪禮處之殺人之眾以哀悲泣之戰勝以
喪禮處之道常無名樸雖小天下莫能臣侯王若能守之萬物將自賓天地相合以降甘露民莫
之令而自均始制有名名亦既有夫亦將知止知止61-230-194-125.dynamic.hinet.net海
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