【漢民科技／提供】
成立於1999年的AIBT（Advanced Ion Beam Technology，Inc） 是由漢民科技在美國矽谷
投資的半導體製程設備製造公司，專門研發與生產半導體製程專用的離子佈植機。這個研
發團隊的組成核心是一群在業界已有豐富經驗的管理階層，並自矽谷招募了一群志同道合
的資深工程師，一同潛心研發出AIBT第一台傲視同業的離子佈植機─iStar。
AIBT所擁有的智財包括離子束的反應與傳輸及佈植製程的控制。而主要股東漢民科技身為
大中華區25年來半導體設備首屈一指的代理商，並且對於離子佈植機的各項服務也有多年
的經驗，不僅能提供AIBT在生產製造上的支援，並且對於AIBT的客戶更能充分的發揮其全
球性的完整服務。
離子佈植機的原理為以高效率電漿源，利用高電壓將其吸出，再經過分析磁場，將所需的
離子源萃取出，植入到晶片上，改變晶片表面的電性，為半導體製程中不可缺少的機台。
iStar是全球首創能整合超低能量及高電流的離子佈植機，它的許多創新設計使其在各項
表現上遠遠超越了相關競爭者。高電流的設計加快植入速度，因而大幅提高生產效率；在
超低能量植入時依然維持能量純淨度，使其生產良率提昇；而植入角度的選擇在市面上批
次佈植機中更是獨占鰲頭。 沒有任何市面上產品同時具有這三項重要的性能。此外，
iStar機械部分的設計也深具未來性思考。在機台整體設計上，採用套裝模組方式，保養
和功能擴建更加容易，降低使用成本；機台的控制系統則是採光纖通信，平行信號傳輸，
以防止雜訊。
iStar的極致表現，將會使半導體界的佈植技術達到符合次世代製程的新標準。
圖：http://member.digitimes.com.tw/NewsImage/030915d13aa_0.gif
【2003.09.15／電子時報】
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