晶研科技普獲業界口碑
【記者楊連基／新竹報導】
以本土電漿製程設備商而言，晶研科技可算是向下紮根開花結果的最佳榜樣，成立至今共
5年的歷史，從基礎的設備硬體設計、軟體開發製程整合，經過多年客戶端的測試與認
證，目前確立了三大業務主軸：以製程代工服務來生產銷售電漿設備並代理設備銷售服
務。
製程代工服務項目首創Ⅲ-Ⅴ Compound（發光元件、光通訊雷射元件）乾式蝕刻代工、
Sapphire Reclaim CVD薄膜製程代工、微機電應用元件乾蝕刻代工、表面改質代工、PCB
產業Plasma Desmear代工等。晶研在電漿製程設備商需要的廠務設施投資，相當可觀，製
程氣體有O2、Ar、H2、CH4、CF4、CHF3、C4F8、SF6、BCI3、SiCI4、Cl2、NH3、SiH4、
N2O、N2及數種MO Source，配合三台ICP-ETCHER、一台ICP-CVD、一台ICP MO-CVD及數台
PR Stripper表面改質機，加上黃光室與相關檢測儀器，成就了晶研製程認證與代工的業
務版圖。
電漿設備生產銷售部分，其實與代工業務密不可分，早期國人對國產設備的特性均具強力
懷疑的態度與不信任感，晶研一路走來倍感艱辛，但發展代工業務的同時也證明了，晶研
科技生產的電漿製程設備性能與再現性，是有實質的受到客戶的認可，如此設備銷售的口
碑才能建立，雖然電漿製程設備種類繁多但晶研科技全心專注於CVD Dry Etching與表面
改質製程的機台不遺餘力，集中現有資源營造出產品市場區隔的成效已開花結果。此外，
晶研科技不吝於分享研發成果，不但與同業互動良好更與學術單位共同開發CNT（奈米碳
管）、AIN（CVD沉積氮化鋁）製程，達到真正雙贏的產學合作計劃。
談到代理設備，其中最值得一提的是，代理銷售Alcatel微機電深蝕刻系統；晶研秉持既
有相關產業經驗的優勢在眾多廠商中脫穎而出，獲得Alcatel MMS原廠青睞，成為台灣地
區總代理，使得晶研科技在MEMS領域中，可提供R&D型與量產型兩種高水準的深蝕刻機
台，此外，有鑒於RF是電漿源的核心設備，晶研也銷售dressler RF Power Generator，
客戶群遍佈所有電漿製程應用領域，貢獻本土設備產業良多。
晶研證如其名─Nano Architect Research Corporation，早在5年之前，由鄭光凱博士創
立，目前由志聖工業主導經營，正由開發期進入成長期的階段，也著實奠定晶研科技在微
機電與奈米科技領域不可缺席的角色。
圖：
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【2003.09.16／電子時報】