百瑟系統半導體事業處發表新品VERSALINE
【記者楊連基／新竹報導】
百瑟系統半導體事業部（Unaxis Semiconductors）於昨（15日），在美國佛羅里達州聖
彼得堡推出新的產品「VERSALINE」，這是專為單一晶片模組製程設計的機台，能夠有效
降低生產成本及製程支出，對現今複合半導體應用及微系統製造工業而言，VERSALINE是
很好的選擇。
VERSALINE具有簡單可靠的晶片傳送機制和操作介面，能夠提高良率及可靠度，成本也較
功能類似但系統龐大的cluster機台來得低；其製程模組設計不僅可應用於尺寸高達200mm
的晶圓，更可以提供廣泛且多樣的沉積及蝕刻製程。VERSALINE製程模組是依標準化的結
構所設計建造的，以確保與中央處理系統的相容性，同時簡化機台的配置，亦可以裝備為
大面積的PECVD沉積系統，或是其他的蝕刻模組，如Inductively Coupled Plasma
（ICP）、Pulsed High Frequency（PHF）RIE 或是 High Performance Oxide Etching
（HiPOE）。
VERSALINE的控制系統，使用的是以彈性與服務著稱的Control Works軟體，標準化的系統
介面使機台具有更強大且多樣的功能，如：製程程式管理、資料收集和記錄、數據的分析
和及時監控等。
Unaxis Etch 及 PECVD事業處Jim Pollock表示，就VERSALINE而言，我們樹立了全新的製
程典範，可應用於複合材料和矽半導體工業的相關領域，如微機電（MEMS）或是薄膜式讀
取頭（thin film head）等；VERSALINE完美地結合了多元化應用與低生產成本，這項嶄
新的產品加上Unaxis全球經驗豐富的技術服務人員，必定能為我們客戶的事業再創成功的
高峰。
Unaxis Semiconductors（百瑟系統半導體事業部）為知名設備商Unaxis旗下的部門，
Unaxis為全球IT市場及部份非IT市場提供整合的生產設備及服務。Unaxis所投入的IT領域
包括半導體、儲存媒體（Data Storages）、平面顯示器（Flat Panel Displays）和光學
元件（Optical Components）；Unaxis Semiconductors專精於先進矽製程（Advanced
Silicon）、先進封裝（Advanced Packaging）、及複合半導體與微機電（Compound
Semi & Microtechnology）三大領域，提供薄膜生產的創新解決方案。
其製程技術包括：PVD、PECVD、UHV-CVD、LEPC、LEPECVD、蝕刻（RIE、ICP）及RTP。百
瑟系統的兩所技術中心，及遍佈全球的40多個銷售據點為各地客戶提供迅捷的服務與支
援。
網址：http://www.semiconductors.unaxis.com/
圖：http://member.digitimes.com.tw/NewsImage/030916d1456_0.gif
【2003.09.16／電子時報】