[請益] 流量和壓力的問題

[DaChung (MooK)]

問題一

假如氫氣和氮氣各為10sccm

請問一下

要如何估算各自氣體的粒子數


問題二

如果A氣體流量有X sccm 以及 Y sccm ,

利用電動閘門使兩流量在腔體壓力固定在 Z torr時

請問這表示兩個流量在 Z torr時的粒子數相同嗎?

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