[請益] 干涉儀反射鏡組

[psychic (過路人)]

版上的大大好

最近實驗室試著在做一個三軸大行程(100mm)平台

與奈米平台的大小行程整合

主要是用雷射干涉儀進行信號量測

但是以前只有小行程奈米平台X軸在作動的時候Y軸的雷射光還是有反射到

可是現在行程一大，X軸動的時候Y軸的雷射光就超出可以反射的範圍了

所以想請問一下

現在有在做高平面度的反射鏡組大小可能需要到(150mm x 40mm)

的廠商或報價嗎?

謝謝大家

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 140.112.43.232
※ 編輯: psychic         來自: 140.112.43.232       (05/08 17:02)
※ 編輯: psychic         來自: 140.112.43.232       (05/08 17:02)
→ yuleen123:你要量真直度嗎？ 可以考慮這種鏡組
→ yuleen123:http://0rz.tw/iqlku 裡面的 "真直度量測光學鏡組套件"
→ yuleen123:找看看你用的干涉儀有沒有類似的鏡組可以搭配
→ psychic:沒錯 就是這個!! 謝謝您!