災後86小時復工 台積電震驚全球(劉在武)
一個企業,能在超級強震之後的八十六小時內,健全的復工,完成不可能的任務
,被全球業界舉起大拇指說,了不起。這個企業,就是台積電。
九月二十一日集集大地震,整個台灣島劇烈震盪,新竹科學園區立即斷電。三班
制的晶圓廠內,片刻間只剩下緊急照明燈、監視系統,以及氮氣等最後安全維護
防線勉強能正常運作。
地震對晶圓廠而言,是非常嚴重的傷害。因為,在無塵的潔淨室內,有酸、有毒
氣,若處理不好,甚至可能爆炸起火。受到地震驚嚇的員工,震後立即疏散,但
更緊張的是躺在床上、已經入眠的高級主管們。
台積電總經理曾繁城,從搖晃後的恍惚回過神來,立即拿起電話,撥給負責台積
電營運副總經理左大川,但左大川已經出門了。當第一次地震撼動時,左大川想
到的不是避難,他穿了衣服,跳上了車,飛車奔回廠區。
地震發生的時間是一點四十七分。二點零二分,地震後的十五分鐘,台積電生產
線的副總經理,以及住在新竹的主管,幾乎全員到齊。大夜班的員工,已被集中
疏散到餐廳。生產線的領班人員,非常擔心員工被卡在潔淨室裡,開始心驚膽戰
的逐線點名,不敢漏掉任何一個可能還留在潔淨室的員工。還好,人都出來了。
這個時候,對外的通訊完全斷了。台積電的員工、主管只知道,這次的地震很強
,但沒有人知道,這是台灣的百年大震。員工與主管們等了一會,仍然等不到電,
只好安排員工們彼此接駁,開始送員工回家。
這不是科學園區第一次停電了。曾繁城沒有驚慌。他在家中,摸黑摸了許久,終
於找到了一台有電池的收音機,開始接收外界的資訊。到了接近天亮的清晨,他
知道事情非常嚴重。不但死傷的數字一直增加,也約略的可以猜出來,電,不會
這麼快回來了。
為了了解廠區的損失,二十一日清晨,曾繁城、左大川與廠務的主管們,戴著防
毒面具、氧氣桶、照明燈與無線通訊的設備,緩步走進了完全密閉的晶圓廠潔淨
室內。由於沒有電力供應,僅能以目視推斷損害情況。
二十一日清晨八點,採購人員已經到位。在左大川的統合下,包括德碁半導體、
世先進以及台積電南、北廠區的廠務、工程師、主管開始集思廣益,依照晶圓廠
製程的流程,沙盤推演每一個環節可能出現的損害。綜合歸納後推斷認為,易碎
的玻璃石英管、精密步進機與不容許任何偏差的離子植入機可能是三大受創部分,
也是影響未來復工的關鍵。如果不儘早備料,台積電復工,可能要拉長非常久的
時間。曾繁城立即下令重新備料,全球掃貨的行動就此開始。採購人員立即開始
散開,國內與國際電話一通一通的撥出去,全球的網路就動了起來。
在這個緊急採購的電話兩端,聽到的,是台積電採購人員說:「這裡是台積電,
地震以及斷電,可能造成很大的影響,我們需要你們的器材,包括……。這個時
候,是台積電需要你們。未來,台積電不會忘記你們的」。就在這樣的對話間,
二十一日早上不到九點,全台灣能買得到的晶圓廠用石英管,全部被台積電一掃
而空,台積電以最佳的效率,保住了料源。
在地球的另一端,台積電美國、歐洲、日本的工程師、駐地人員,不分晝夜,立
即找來設備供應商的服務人員,要求調配全球最有經驗的工程師來台協助。包括
WaferTech、台積電駐美西、日本、歐洲的海外員工,部分已整好裝,到了機場,
押著台灣通告的復建材料,坐上了飛機,趕回台灣。一件一件的復建材料,在災
後的二十四小時內,不是已在台灣的路上,就已上了飛機。
不過,由於內管、外管有不同的材料,有一塊特殊石英,在全球各處都敲不到貨
。開會的主管與工程師們,全部綠著臉,不知道該怎麼辦。因為,少了這一塊石
英,即使其他的石英都備齊了,也復不了工。
就當大家苦思無解的時候,外號超人的協理曾孟超突然說:「我們幾年前,決定
改用這塊石英,是因為知道這塊石英成本低、耐度高,現在,找不到這塊石英,
何不找找看,原來用的那塊石英還有沒有貨。」就這麼靈機一動,全部人都高興
得跳了起來。採購人員馬上敲到了市場的存貨。
也就是有這麼多有經驗、負責的員工,使台積電能在最短的時間內,群策群力,
以最快的時間,恢復產能。
許多工程師九月二十一日趕到現場後,發現每一個廠的監測系統都顯示無毒氣外
洩,許多工程師都急於進入廠區內救援。但由於餘震不斷,為了安全的考量,台
積電工程師,只有二○%的人受命留下來協助,其餘的人全部被要求回家休息。
主管們告訴大家,不要急,回家養精蓄銳,如果電力一恢復,將是二十四小時無
日無夜的修復、趕工,到時候需要大家的體力。
做好了萬全的準備,剩下來,只能等。等台電的電力重新輸送,以搶救設備。但
台電傳來的消息是:最快兩週後才有機會重新復電。而且電力恢復的順序,是民
生用電第一,工業用電次之。
台積電高層主管想,如果復電時間是兩週,台積電一定會毀掉。因為,從二十一
日到二十二日,氮氣的壓力已漸漸不夠,而外洩的酸,可能在七十二小時後,開
始腐蝕設備;內壓不夠造成的外部空氣進入,無塵的潔淨室必須重新潔淨;腐蝕
的機台,每一項機械設備都必須重新清洗。換掉耗材,就等於是將每一部機台都
拆開來,再重新組合。台積電的各晶圓廠,等於要全部大卸八塊後,再重新組合。
工程將無比的浩大。
如果拖過七十二小時,電力無法供應。台積電各廠可能在一夕之間全毀。未來復
工的時間,可能是要兩個月、三個月後,甚至更久。台灣的半導體產業,將可能
因此面臨嚴重的災難,而全球的電腦供應,可能就此停擺。
二十二日星期三,張忠謀主持的例行週三會報按時召開。在了解全部情況之後,
張忠謀下達了三項指令。
第一:雖然公司受創嚴重,但比起中部同胞受災情況,公司仍有餘力,決定捐款
二億元。
第二,電力吃緊,緊急與主管單位溝通,要求先提撥部分電力。
第三,讓客戶清楚明白搶救、復修的狀況。
台積電副總經理黃彥群身兼科學園區水電協調連絡人,開始和管理連絡,希望主
管機關盡一切可能,在黃金搶救時間內,能提撥部分的電力。曾繁城要求,園區
的廠商,只要提供五十萬瓩,也就是原供電量十%的電力,就有機會能搶救機台。
張忠謀開始透過管道與行政院長蕭萬長連絡上,告知園區目前身處的緊急情況。
包括國科會主委黃鎮台、經濟部長王志剛先後都已了解此事,開始進行緊急的協
調工作。
但時間非常的緊急。二十二日,台積電開始發現,氮氣可能不夠用了。如果氮氣
不夠,無法保持潔淨室內機台處於正壓狀況,外部的空氣就會對流進入潔淨室,
潔淨室可能因此必須重置。
由於生產時,所需的氮氣較大,而停產時氮氣需求量應該沒有這麼高。一座廠的
工程師在得到允許之後,嘗試著用手動的方式,調降潔淨室的氮氣,結果並未影
響到無塵室的潔淨度。這個消息立即通報到各廠,其餘四座廠立即也調降氮氣的
壓力。在通報到其餘晶圓廠後,整個園區供應的氮氣全面降了下來。園區的廠商,
就在這種平時競爭,災時互助、經驗分享的情況下,試圖將損害降到最低。
不過,如果電力再不來,剩下的黃金救援時間,也已經不多了。主管們開始愈來
愈急。
所幸,溝通出現了效果。台電決定,二十三日先行供應科學園區十%的電力。就
在此時,包括荷蘭ASML公司,以及美國、日本的半導體設備供應商派出的最
優秀工程人員,都已兼程抵達台灣。
為了安撫客戶,台積電行銷副總經理龍納德開始親自發e-mail給每一個客戶,每
一天的每一個階段,都明白的告訴客戶,你的產品目前位於生產線的哪一個階段,
是否可能受損,而目前台積電搶修的情況如何,復工的程度有多高,而搶回的晶
圓片數有多少。全部都據實以報。
許多海外客戶的回函令台積電負責行銷的人相當窩心。這些客戶詢問的第一件事
,幾乎都是問員工受傷的情況,能幫上什麼忙。張忠謀所訂立的無晶圓廠
(fabless),以及把台積電晶圓廠當作是家裡後院工廠的目標,在這個危難的時
刻,顯現出真意。客戶就像是關心自己家人一樣,在關心台積電。
許多矽谷的廠商也有晶圓廠,經歷了舊金山大地震,有過救災的經驗。紛紛告知
台積電,表明他們公司願意幫忙,並願意立即派遣工程師來台協助。台積電表示,
雖然用不上,但實在令人窩心。
二十三日,當台電五十萬瓩的電力一到,國外的工程人員,台積電的工程人員,
戴著防毒面具、氧氣桶、照明設備與通訊器材,再度進入潔淨室,一台一台的打
開機器檢查,並以電訊器材告訴外部人員,開始統計損害的數量,立即備料進行
修復。此時,不論是從全台掃到的石英管,或是員工從世界各地乘飛機抵台帶回
的耗材料件,都已經就定位。
二十四日,台電供應科學園區的電力,拉升到百分之二十,駐廠工程師開始大批
進入廠區,一台一台機器打開後,開始整理晶片、進行復建,破掉的石英立即進
行換裝,彎掉的爐管,也立即進行維修。二十五日,電力恢復程度達五八%,週
六開始,百分之百的重新供電,台積電立即重新上線生產,除了部份產能無法使
用外,產能恢復的程度與速度,外界都不敢相信。
從二十一日地震開始,十五分鐘內,台積電主要幹部,全部到達現場;在上班後
一個小時內,全台的石英管被台積電掃光;在一天內,散佈在全球的員工,押著
備料搭上飛機;在不到二天內,全球主要的供應商最具經驗的維修人員,已抵達
台灣,到達現場。二十三日,百分之十的電源恢復,台積電已開始進場搶修,損
壞的料原,就此換上。每一項危急的救災,都在工程師與主管們群策群力的激盪
下,完成了任務。
一位曾經在美國晶圓廠任職多年的台積電員工說,如果,這件事如發生在美國,
電力供應系統與台電一樣,可能造成的災難,將遠遠超過人們的想像。
這也難怪,知名的商業週刊、道瓊社會以專文推崇台積電的效率。台積電也以此
表現,印證其為「世界級企業」的實力。
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