[問題] 有沒有舉離一直失敗的掛

[qoo963000 (kobekoung)]

各位先輩們好  手機排板請見諒
最近小弟 都用 PR9i-6000PY 的負光阻
來作黃光微影  光罩用負片
顯出來的圖型 （最小線寬10um）滿漂亮的
但是作舉離（lift off）就完全被洗乾淨
作了好幾次都這樣
所以我想問
1.是光阻太 厚嗎  我用500 3000轉
2.是曝光能量少嗎？
3. 還是我光阻用錯了

我今天換了 NR-20 也GG. 快瘋惹

就就小弟感恩

--
Sent from my Android

--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 114.46.232.10
推 Ice98:鍍膜條件？蒸鍍？濺鍍？
→ qoo963000:蒸鍍
→ yasuhiro:你確定光阻有顯乾淨??
推 skyghostlove:光阻顯影後,有被光阻覆蓋住的地方跟沒覆蓋住的地方顏
→ skyghostlove:色差異很大,就能判斷你顯影有無顯乾淨.
→ skyghostlove:若還是一直脫落,建議曝光後打臭氧清除殘餘光阻,問題
→ skyghostlove:應該會解決,光阻厚度決定你的曝光時間長短,相對的越
→ skyghostlove:厚,曝光時間也就加長
→ qoo963000:感謝！！！