原本的曝光時間 x 1.5倍。假設原先10s的話改15s, 原先3s改成4.5s
然後你的載玻片若不怕進氧電漿的話硬烤後拿進氧電漿descum一下。
另外這樣測試黃光參數若太耗費成本耗費時間的話可以用手邊可用的sputter鍍
便宜金屬(鋁啊銅啊)去測試。只要sputter的金屬不會掉，evaporate的就不會。
※ 引述《liliihana (花仔*)》之銘言：
: 目前正在做lift-off製程
: 玻璃有利用丙酮，酒精，異丙醇，DI水，烤乾等清洗過
: 先用黃光做完結構之後(最小線寬10um)，再蒸鍍Cr、Au或Ti、Au
: 光阻是用AZ1518
: 請問蒸鍍之後需要擱置一段時間才能浸泡丙酮嗎?
: 我一泡入丙酮整片金就脫落了...@@
--
本球隊一切依法行政，謝謝指教。
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 69.91.156.147