[問題] LPCVD氮化矽蝕刻

[bb0303 (empty )]

想請問版友


有沒有人用LPCVD長過氮化矽


然後嘗試用不同濃度的HF蝕刻過?


感謝

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.117.165.40
→ himmel:我用過新竹NDL的LPCVD長nitride 厚度1000A
→ himmel:然後用49%的HF  20~30分鐘吃光光  沒比較過不同濃度的HF
→ bb0303:OK 感謝!!