[問題] HF的問題???

[bank00177 (康康)]

請問板上的大大   有什麼金屬是不被HF所吃的嘛???

謝謝大家!!!



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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) 
◆ From: 140.135.97.167
推 rushwallance:Cu,Au,Ni這三種我都試過不會被吃
→ bank00177:謝謝喔 那PDMS脫模後會殘留在SI上 有甚麼可以吃掉PDMS的
→ bank00177:溶液嗎???
推 ckris1945:吃PDMS好像喬越有種藥劑可以 不然就是用RIE打
推 jam46:有看過paper是用NMP:TBAF=3:1來做濕蝕刻，詳見"Patterning
→ jam46:PDMS using a combination of wet and dry etching"這篇