→ melvyn:1)的部分我想式蒸鍍金的時候把光阻又再次加熱 導致光阻過乾 11/30 17:10
→ melvyn:2)的部分，PDMS與Ti/Ni層中夾的Au，會因為震盪就被去除嗎? 11/30 17:11
推 cyw7412:想請問一下~用丙酮去光阻不會影響PDMS嗎? 01/11 20:08
→ cyw7412:因為我也需要鍍金屬在PDMS上,怕丙酮會吃PDMS 01/11 20:09
是這樣的
小弟最近在嘗試一個在PDMS上製作金屬結構的製程
實驗步驟大致如下:
先用微影定義區域→蒸鍍10nm Au→丙酮去除光阻(如此只有先前無光阻處會有金)→
再蒸鍍Ti 10nm/Ni 50nm→用超音波震盪去除Au
現在小弟遇到了幾個問題
(1)在去除光阻的過程中金膜會有剝落，或是光阻去除不完全問題
(2)最後用超音波震盪無法去除Au
其中(2)的問題比較讓我苦惱
有板上哪位大大能提供一些意見嗎?
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