[問題] PDMS 黏合問題

[doublecool (涼涼)]

摁，最近翻了很多片PDMS要做流道用
一開始首先用PDMS對黏
好像可以，不過後來就一直黏不起來

於是聽老師的話跟看PAPER
就去借了O2 plasma

由於是借用別人的實驗室去太多次也滿不好意思

那台O2 plasma 功率大約20W
打了3-5分鐘 (想說瓦數低打久一點)

然後bond玻璃 不過好像沒有效果

不知道是不是打太久還是瓦數太低根本打不起來？
還是要有其他步驟

請各位大大幫小弟解答一下

感謝><

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◆ From: 140.122.53.59
推 jeffdon2:打O2plasma要PDMS與玻璃都事先清潔接合表面
→ jeffdon2:壓力值大約保持在0.5torr左右，太低的話改質效果不佳
→ jeffdon2:20W的功率打3~5分鐘是OK的
→ jeffdon2:而且PDMS與玻璃都需要打氧電漿
→ jeffdon2:黏好之後放進烘箱烤30分鐘可以增加接合強度
→ doublecool:先謝謝 因為O2 plasma一次只能打一樣 這樣拿出來接觸
→ doublecool:到空氣會怎樣嗎
→ doublecool:如果黏好之後用熱烤機烤(沒有烤箱)這樣可以嗎？
→ jeffdon2:PDMS對黏的話反而需要大於0.5torr，即氧氣量更多才足夠
→ jeffdon2:腔體有小到放不進2樣嗎?
→ doublecool:是圓柱體 放不下耶 玻璃是4吋晶圓大小 要斜著放
→ jeffdon2:如果真的放不下，請把先打好的PDMS整個泡在酒精中
→ jeffdon2:這可以延緩改質效果的衰退
→ jeffdon2:盡快將另一樣改質好進行接合
→ doublecool:所以不管是PDMS或Glass都用0.5torr 打3-5分鐘 20W
→ jeffdon2:事後的烘烤用hotplate或是oven都OK
→ jeffdon2:沒錯
→ doublecool:OK 知道了 我約約時間去試看看 謝謝您
→ doublecool:不知道玻璃拿去烤會不會破掉