[問題] ITO玻璃上打Plasma

[fap970716 (路人甲)]

大家好

想請問一下大家有沒有在ITO玻璃上打plasma的經驗或辦法呢?

實驗室之前都是直接用蓋玻片和PDMS一起打plasma

鏈結上都沒有問題

但我自己的實驗需要在蓋玻片上先上一層ITO玻璃

打plasma之後卻發生鏈結不穩的情況

打完plasma都還黏的住，但是灌水之後PDMS就跟玻璃分開了

不知道需要先做過什麼處理辦法?還是功率不夠高呢?

謝謝大家!!

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◆ From: 140.114.43.3
推 balaboo123:打過 但ITO上長不出氫氧建 所以無法預pdms bonding
→ balaboo123:　　　　　　　　　　　鍵　　　　 與
→ balaboo123:無論功率或是秒數 似乎都調不出可以bonding的組合
→ balaboo123:之前因為看到某學校step是這樣做而嘗試...
→ balaboo123:目前所知道可行的方法是 PDMS bonding面積底下
→ balaboo123:將部分ITO蝕刻掉 讓玻璃裸露出來打plasma
→ balaboo123:再利用裸露部分進行接合 但要看你的設計允不允許了
→ balaboo123:如果你有其他化學改質的方法 也許可以不用蝕刻
推 s75287:ITO表面再PECVD上一層非常薄 oxide 也是可以的....
→ fap970716:謝謝兩位!!我再試試看!!