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板上各位大大好 小弟想問有關利用濺鍍機的RF電源濺鍍的問題 就是之前有拿RF鍍過銅和白金 結果都有濺鍍上去 後來改鍍鋁和鈦 結果卻鍍不上去 想請問是什麼原因 我電功率調150W 氬氣流量10SCCM 還請各位大大指教 謝謝 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc) ◆ From: 203.64.97.12 ※ 編輯: vipassana 來自: 203.64.97.12 (03/12 19:30)
sosmartxp:每台機台的特性不一樣~~很難有正確的答案吧 03/12 19:32
keinlai:鍍在啥上面? 03/12 19:33
sharee:you should study the book, globe of discharge. 03/12 19:34
sharee:you'll find answers you want from this book. 03/12 19:35
vipassana:鍍在晶圓上...謝謝大大的回答 03/12 19:46
powerme:不同材質當然要用不同鍍膜方式與參數 描述太簡略 很難幫 03/12 19:54
sa029893: 參數自己去抓阿 這應該不難吧 03/12 20:00
l26921216:我學弟就鍍過鈦了...參數自己抓..這不是最基本的嗎? 03/12 20:36