推 vipassana:嗯嗯感謝指教 03/12 20:35
※ 引述《vipassana (小豪)》之銘言：
: 板上各位大大好
: 小弟想問有關利用濺鍍機的RF電源濺鍍的問題
: 就是之前有拿RF鍍過銅和白金
: 結果都有濺鍍上去
: 後來改鍍鋁和鈦
: 結果卻鍍不上去
: 想請問是什麼原因
: 我電功率調150W
: 氬氣流量10SCCM
: 還請各位大大指教
: 謝謝
在這個版問這個問題還蠻奇怪的
當然機台都有不同的特性
所以參數一定不一樣
而且參數絕對不只你所提出來的這兩點
包括工作距離 工作氣壓等等
電功率也要看靶材面積而定
我是建議如果你發現度出來的膜有偏透明的情形
可能是因為系統或靶材不夠乾淨
有可能有氧的存在
當然變成鍍氧化物鍍率會大幅下降
可以檢查漏率看看
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