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鄉民提問:為什麼high Vt電流比較小? 因為Id = 1/2K(W/L)(Vgs-Vt)^2 這個式子在planner mosfect才成立 怎麼來的 電子學有教 請自己去翻課本 當Vt增加時 Id一定變小 (因為Vgs是輸入訊號 會是定值) 光看式子你可能沒“感覺” 以物理“直覺”來說 就是Vt上升代表電子或電洞比較難被吸上來形成通道 理論上整合應該是最了解製程目的的單位 但不知道為甚麼 很多整合其實都不知道自己在 做甚麼 在半導體製程 很多時候都是電性要求是首要考量 然後才是結構 最後才是解defect 電性不外乎就是Id(sat) , Vdd , f(頻寬),R(阻值)... 以Id(sat)來說 飽和電流是受到channel 的長寬比 及 Vt 影響(以傳統的mos來說)(finf et 要去查一下paper 或跑模擬) 所以W/L的比值就很重要 因為如果W/L的range 太大 代表Id就不穩 這就是為何我們要求蝕刻的CDU要卡在一個範圍內 所以在做STI的時候 每一個mos都要切的像豆腐乾一樣 在要求蝕刻前 要先跟蝕刻討論一下哪種hard mask 選擇比比較高 然後疊甚麼film 對黃 光的反射率最低 蝕刻的stop layer是要停在SIN 還是 SIO 然後去除stop layer要找wet的來討論一下 用哪種酸去泡 除了這個 還有Vt , Vt受IMP影響 所以必須去看打不同的能量時 Vt的變化 或 Id夠不夠 陡 所以才會要求IMP 要打多少能量 多少濃度 打完之後找爐管的來討論一下回火的溫度 以及後面製程的thermal budget 是否會造成植 入離子再次擴散 除了主動區要切的像豆乾一樣 之外STI 還有縱深的的考量 因為深度會直接影響是否有電 流的leakage 以及STI裡面填的是SIO 還是 SIN 電性結果也會不一樣 所以要找thin film的人來討論一下 那種film的介電常數比較低 填完之後不是這樣就沒事 填洞一定會有孔隙問題 或是 提前封口 電性考慮完了 還有結構的問題 例如: STI bending , step height 之類 ... 然後這樣只是做完前段STI loop而已.... (還不包括解defect 跟 low yield) 所以如果你不知道自己在幹嘛 最簡單的可以先去搞清楚電性跟製程的關係 很多整合覺得defect跟low yield是媽九的事 其實不太正確 因為defect有時是來自於flo w不健康 講那麼多 看的懂的就看的懂 看不懂的就乖乖帶貨吧 -- ※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 101.12.132.227 (臺灣) ※ 編輯: sendtony6 (101.12.132.227 臺灣), 08/21/2020 23:32:21
F126759335: 推推08/21 23:37
contaminate: 厲害08/21 23:39
realpeez: 做整合工程師就是複習元件物理的時候08/21 23:45
hisped: 整合壓力很大吧08/21 23:47
realpeez: id 公式的k用un/Cox 表示會更能連結process flow.08/21 23:48
loveFigo: 其實現在課本的公式越來越沒用了,但你的基本觀念完全正08/21 23:54
未必哦 finfet一樣要克服Vt 只是Id跟mos的形狀關係可能不太一樣 但大至都是正比W/L 但early votage的問題會變嚴重
loveFigo: 確。太多know how, 全靠你在業界的經驗了08/21 23:54
loveFigo: 最好就是可以Vt又低漏電又低,Junction阻值又小,Gox又08/21 23:56
loveFigo: 不會有electron trap08/21 23:56
cinlix: 希望像你這樣的強者愈來愈多08/21 23:57
mis321: 現在就是越來越多不知道在幹嘛的整合 跟只會推事的整合08/22 00:06
j90206: 推推08/22 00:14
Unstable: 電性、製成目的真的只是基礎,遇過厲害的還懂數位電路設08/22 00:59
Unstable: 計。08/22 00:59
a0952864901: 推認真08/22 01:09
zch222520: 因為公司文化吧,不把球丟出去就被尻爆了08/22 01:17
john97611017: 這是基本吧...強者...08/22 01:19
zzyzx: 這不是最基本的嗎...08/22 01:22
話不能這麼說 你是電資背景可能覺得沒甚麼 但是現在如果我問你 finfet的Id-Vd關係式 是甚麼 你應該也不知道 反過來說 媽九的製程專業你也只是知道的很淺而已
PauFrank5566: 基本觀念,有認真大概都知道08/22 01:25
wdv999: 強者推~遇到的整合都是要FA分析做完後幫忙兜完WAT跟對到i08/22 02:11
wdv999: nline之後整包交給他們~才會去找馬久~平常都說帶貨很累08/22 02:11
chariot825: 優文,製程跪著看08/22 02:14
fp737: 還好推文大部分沒讓我失望08/22 02:49
mongojoba: 這是開發新製程吧 大部分顧量產解low yield就飽了08/22 03:11
Qoo20811: 跟樓上感覺相同 這應該是TD的工作 要是PIE這些都會應該08/22 03:41
Qoo20811: 不會只做TD08/22 03:41
Qoo20811: 更正 PIE08/22 03:41
Qoo20811: 正常來說PIE看到的recipe都是穩定的了 除非是新產品下線08/22 03:42
pinkjenny: 最好是量產的型號可以等你分析這些啦...08/22 04:24
pinkjenny: 遇到LY沒趕快按iEDA,或者按完沒HL 很快就有人來嘴了08/22 04:25
nick65415: 製程懂到這樣還蠻不錯的,這些是整合的基礎08/22 06:32
cplusplus426: 完全不會08/22 06:40
bhchad: 同24樓08/22 07:16
※ 編輯: sendtony6 (101.12.132.227 臺灣), 08/22/2020 07:29:25 ※ 編輯: sendtony6 (101.12.132.227 臺灣), 08/22/2020 07:37:45
Armuu: 很多整合都是材料背景的 08/22 07:40
jacky00205: 推。08/22 09:11
ee50: step height啦。是要多high08/22 09:35
喔~改了拉~跟打炮一樣high...
lazarus1121: 這個強欸 前公司的整合只會問你5WHY 08/22 09:50
mathlover: 這篇講的蠻正確的,對電機出身的人蠻基本。但很多PID 08/22 09:54
mathlover: 不是電機出身,你跟他們說channel、early effect、body 08/22 09:54
mathlover: effect、hot Carrier效應...他們都不懂。 08/22 09:54
g870043: push 08/22 10:00
XD15041: 非電資完全看無 08/22 10:20
spencer222: 對電類蠻基本的 電子學有好好唸都會 08/22 10:24
spencer222: 但其他科系就不知道了 08/22 10:24
uno2000: 量finfet的WAT ALG跟planar一樣,所以基本上課本的公式 08/22 10:27
uno2000: 還是可以應用,這是實務上的~ 08/22 10:27
HRyan: 推! 以前看過INT數學系,PE建築系. 都有年資但聽他們講就很 08/22 10:36
HRyan: 虛 08/22 10:36
HardyJJ: 電機系大學畢業就可以上工了... 08/22 10:43
HardyJJ: 跨系的看不懂不是正常... 08/22 10:45
HardyJJ: 電機你問他建築他也不懂啊...08/22 10:46
j821005: 很多PIE跟TD也不懂這個08/22 11:04
※ 編輯: sendtony6 (59.120.236.138 臺灣), 08/22/2020 11:27:47
deltarobot: 只要會DOE跟撈common tool就好08/22 11:50
ijk1: 現在PID沒這麼強啦,你去問FEOL, MEOL, BOEL的整合,看他們08/22 11:56
ijk1: 會不會電性,Lot owner就更有趣了,只會帶貨、解low yield08/22 11:56
ijk1: 聽過一堆做3, 4年的owner連WAT都不會看...08/22 11:56
Iloinen: 強者推...08/22 12:10
cplusplus426: 都不會 還能做 那要會什 08/22 12:11
leo255112: 以前我在當製程的時候,還有整合跑過來問我一張SEM im 08/22 12:29
leo255112: age是不是有量測問題XD. 還是有年資的喔 08/22 12:29
gogohc: 技術流 08/22 12:30
leo255112: 我自己是覺得現在工作真的被切得太細,變成你要幹很多 08/22 12:30
leo255112: 雜事,處理一些根本不重要的東西,久而久之進步就很有 08/22 12:30
leo255112: 限 08/22 12:30
mathlover: 推樓上...只能靠自己利用時間,像我會故意請假 但是還 08/22 12:42
mathlover: 是來公司看flow 08/22 12:42
mathlover: 不過我不是整合XD 08/22 12:48
a2322896: 請假來公司看flow.... 08/22 13:13
raya61305: 請假來看flow是多奴... 08/22 13:32
bbo214: cool 08/22 13:34
raya61305: 如果是GG非電類整合 WAT不熟也不意外 因為大多時間做廢 08/22 13:41
raya61305: 事 我倒覺得二三線fab整合 以一個三年左右的工程師 會08/22 13:41
raya61305: 的還比較多...08/22 13:41
mathlover: 是蠻奴的 但上班光電話都接不完;而且上班看flow會被認08/22 13:45
mathlover: 為你很閒@@08/22 13:45
iamchyun: 不是電資背景 不是更應該花時間研究基本功嗎?不是電資08/22 14:18
iamchyun: 背景的跑來當整合被電不是正常嗎?08/22 14:18
cplusplus426: 這些資訊背景也不會阿08/22 15:11
jumpballfan: 請假來公司...08/22 15:16
kk123: 蝕刻 08/22 19:33
BalloonBa: 優質 08/22 21:50
a24606: 笑死 你家EH是用嘴去吃嗎 食刻ZD 08/22 22:33
懶得挑字而已拉 你不喜歡可以不要看 等下我不爽就刪文 反正我也沒必要教你這種人
q169: 不要我變客戶還要去HILI整合查LY呀...... 08/22 22:49
※ 編輯: sendtony6 (39.11.162.94 臺灣), 08/22/2020 23:14:33 ※ 編輯: sendtony6 (39.11.162.94 臺灣), 08/22/2020 23:17:13
amoskd: 新人上課就是這些啊...... 08/22 23:34
douge: 已經很久不用implantation 了 你這是新人訓練的講義吧? 08/23 00:25
Qoo20811: key layer還是會用imp吧 樓上說的是用PLAD去做嗎? 08/23 03:50
germanykahn: 推 08/23 06:29
LittleHorseS: 優質 08/23 08:45
kurll: 一堆整合就只會要媽久提供報告啊 08/24 14:07