作者stanlin1977 (娟娟)
看板Tech_Job
標題Re: [請益] CMP製程工程師
時間Sat Oct 29 01:01:19 2005
※ 引述《skyo1979 (４００Ｇ硬碟大特賣！)》之銘言：
: ※ 引述《shallel ( ^^)》之銘言：
: : 今天收到華邦電子的面試通知，是中科廠
: : 的CMP製程工程師，想請問一下這個工作
: : 主要是在做什麼，跟薄膜、擴散、黃光、
: : 蝕刻製程工程師相同嗎?
: 大概就是銅製程的大馬士革法,銅Sputter上去以後磨平的
: 還有磨一些oxide讓他表面平一點
: (通常後面會伴隨一些回火or沉積薄oxide修補小刮痕)
: 都是在tune recipe但是比黃光和蝕刻涼很多啦!也比較不會被High light
Trench DRAM 廠五大module裡最涼的就是cmp 了....
主要是負責將一些film 磨平....
包掛oxide , poly , W 就這樣.....
跟其他module相較之下相對單純許多,製程數最少....也許1/15 不到吧?
如果說非得做製程工程師.....那做CMP就沒錯啦!!
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