推 lary:如果是在TFT-LCD中的Arry段製程會用到HF嗎~~去吃玻璃基板`~ 10/27 12:23
推 yvmi:乾蝕刻本來就是在Array段裡面 Orz 10/27 20:32
※ 引述《lary (無知)》之銘言：
: 而電漿蝕刻不是只是利用電漿將蝕刻氣體解離產生帶電離子、分子、電子以及反應
: 性很強(即高活性)的原子團（中性基 Radical）此原子團與薄膜表面反應形成 揮發
: 性產物，被真空幫浦抽走。而蝕刻氣體不是也會用到HF嗎(TFT-LCD中)，
是，的確有可能用到 HF
不過我還沒有遇過啦。
據說好像統寶的乾蝕刻機台就有用到了。
記得好像是用來蝕刻 Mo 膜的樣子。
然後還因為 Exhaust pipe的heater有問題，
Mo 的沈積物塞在 pipe 裡面塞到都快要堵起來了
搞的 dry pump 抽不下去，然後拆開看才發現……XD
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如果甲殼或角質鱗片取代了皮膚，愛欲會變成什麼樣子?
--帕洛瑪先生--
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