作者SNH48 (上海48)
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標題[新聞] ASML宣布全新半導體技術：產能大漲600%
時間Thu May 28 23:34:34 2020
5nm工藝起飛 ASML宣布全新半導體技術：產能大漲600%
提到荷蘭ASML公司，大家都知道他們是全球唯一的EUV光刻機供應商，7nm及以下的工藝生
產都要靠他們的設備。不過ASML不只是光刻機厲害，今天他們宣布了另外一個新產品——
第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000，適用於5nm及更先進工藝，使得產能大漲600%。
隨著製程工藝不斷提升，晶圓的製造也越來越複雜，這也會導致晶圓中的錯誤更多，HMI
eScan1000就是一套基於HMI多光束技術的檢測系統，內部也有復雜的光電子系統，能夠產
生、控制多個電子束，然後根據反射回來的電子束成像來分析晶圓質量，並有高速運行的
平台以控制測試的晶圓數量，還要有計算系統處理電子束的數據。
簡單來說，ASML研發的這個HMI eScan1000機器就是一台驗證先進工藝生產出來的晶圓質
量的系統，工藝越先進，檢測系統就越重要，它的檢測精度、吞吐量決定了生產的效率。
ASML的HMI eScan1000的突破之處在於能夠同時產生、控制九道電子束，所以產能提升了
600%，可以大大減少晶圓質量分析所用的時間。
目前HMI eScan1000可以用於5nm及以下先進工藝的晶圓測試，已經交付給客戶進行測試驗
證，未來ASML還會推出光束更多的測試設備以滿足客戶對先進工藝的要求。
https://tech.sina.com.cn/roll/2020-05-28/doc-iircuyvi5561899.shtml
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推 JerianGrant: All in 艾斯摩爾 05/29 00:25
推 games: 這個時候應該站出來說話了 05/29 00:28
推 Exusiai: 看來帆宣要暴漲了 05/29 00:33
→ Exusiai: ASML Supply Chain 05/29 00:34
→ zero3445: 檢測漲600% 然後?? 05/29 00:45
推 br2658: 然後機台貴3~5倍啊 05/29 01:23
推 kimfatt: 也就打到KLA吧？ 機台可以少擺一些 05/29 02:01
推 jake0916: 電子束量測速度跟保養時間是最大缺點 05/29 02:04
推 jumpout: 漢微科QQ 05/29 02:23
推 qwe172839: KLA: 05/29 03:19
→ louiswu: eBeam的用途跟量產還是有差啦 05/29 04:34
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→ InvincibleK: 英特爾笑而不語,用表情表示: 05/29 07:07
推 moonth66: 漢微科不是已經併到ASML了嗎 05/29 07:20
推 motan: 然後讓更多晶圓廠知道自己產品多垃圾 05/29 07:23