2006.12.06 中國時報
虎尾科大 研發雙軸定位平台
許素惠/虎尾報導
虎尾科技大學與銀泰科技公司產學合作，成功研發國內第1套自製雙軸長行程奈米級
精密定位平台系統，對於國內光電與半導體設備產業，具有突破性發展，與日、荷、韓等
國並駕齊驅。
主持這項研發計畫的虎科大自動系教授覺文郁指出，隨著半導體工業與奈米科技的開
發運用，使得奈米級定位平台需求，快速成長並具未來關鍵性，可廣泛應用於光電與半導
體設備上，如晶圓曝光機、原子粒顯微鏡、微影製程、曝光顯影、PCB與LCD等。
覺文郁說，此精密運動平台是不可或缺的關鍵性載台，而全球對此精密平台的需求將
持續成長，且設備價格大幅成長。國內相關關鍵技術仍不純熟，目前所有設備皆從日本、
荷蘭與南韓進口。
該校由自動化系、光電所，與成大航太系、精密機械技術研發中心等跨校系所師生，
和銀泰公司產學合作，成功研發出第1台完全由國人自行設計、製作與開發的雙軸長行程
奈米級精密定位平台。
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