==> ddcatt (叮噹貓) 提到:
> ==> fishman.bbs@www.cn.nctu.edu.tw (過期乳酸恐龍) 提到:
> > 但我相信你也知道這些東西都是因為深刻的了解繞射問題才有的解法
> > 而且,據我的印象..相位移光罩在單純波長的光源才有辦法用吧...
> > (事實上黃光製程上所有的曝光光源都是單純波長的)
> 嗯，提這些只是想表達即使是物理定律，
> 有一天仍然可能被推翻或突破 :)
> 扯遠了....
但是在這個例子裡,並沒有什麼物理定率被推翻或突破啊.
以我們這邊談的Airy disk來說,它是圓形孔徑以及平面波前造成的繞射,
你提到的phas-shift mask,也只是改變這個前提而已,繞射的物理本質
並沒因此改變,繞射限制了成像精確度這件事也並未被突破.
事實上,不說這麻煩的phase-shift mask,以我之前提到的反射鏡來講就
好了,它的中心遮蔽就等同於改變了Airy disk所假設的圓形孔徑,只是
並未引入phase shift而已,而這個孔徑形狀的改變,就會使繞射環的主
極大變窄,形同於提高解析力. 但,解析力受繞射限制這件事並未因此改
變,只是繞射的形態不同罷了.
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