※ 引述《ddcatt.bbs@bbs.ntu.edu.tw (叮噹貓)》之銘言:
: 今天也許相機的鏡頭解析力受到繞射極限的限制,
: 所以一味的增加CCD pixel密度無助於解析度的提高,
: 不過先讓我扯到另一個話題,
: 目前許多最先進的光學科技正用來解決半導體製程曝光的問題,
: 隨著元件的尺寸縮小(光罩線寬跟著變小),繞射現象隨之而來,
: 在不願意使用更短波長來進行曝光的情況下,
: (成本、X-ray技術成熟度、材料限制...很多原因)
: 有沒有辦法突破繞射極限?
: 答案是有的,而且已經行之多年,
: 常見像偏軸光源技術、相位移光罩技術、光學近接修正技術等等,
: 事實上都已經突破繞射極限,
很好的問題。
基本上,相位移光罩技術 phase shift mask,和光學近接修正技術 OPC,
就我的認知,都沒有突破繞射極限。
這兩種技術都是在光罩上調變,
phase shift mask有好幾種,但調變的都是圖形邊緣處的相位.
OPC調變的是形狀,例如在圖形角落處加個小耳朵之類的形狀。
簡單講,都是對光罩"調整"。
如果,黃光製程要類比到攝影的話
[光罩圖形 成像到晶圓] 可類比為 [被攝景物 成像到底片或CCD]
所以 [光罩圖形] 可類比為 [被攝景物]
換句話說,以上那些調變光罩的技術,
用到攝影來,我們要先去調變被攝景物,.......很怪,很不合理對不對?
所以這兩個方法可能要先放棄.
: 我們怎麼知道有哪一天傻瓜相機的鏡頭不會也把這些技術用上去?
: 好吧,至少Sony T1還沒有... ^^!
: 又感謝Hao的計算,獲益良多(這可是國中還高中物理的公式呢)
: EPS兄的速算公式也很方便... :)
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