板上的各位大大,你們好
小弟我本身是做PECVD的,會用MFC(mass flow controller)來控制我製程中要的流量
最近因為做實驗時,玻璃管中precursor的液體不小心衝到
管子裡面,好像也有一點進到MFC裡面,導致他現在數值會一直跑來跑去的
想問大家有推荐的維修或購買廠商嗎?
原本買的廠商,學長不大推薦,叫我在去多找幾家
但我也不知道還有哪些可以找的
我這邊有的名單就只有"笙瑞"
請問大家還有其他推薦的廠商嗎?
感謝各位了!
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