推 ilovedandan:不能只憑穿透就推出其他二者吧? 會有薄膜干涉 04/06 11:56
→ ilovedandan:反射會受薄膜厚度影響 有干涉條紋 光譜儀不能量反射 04/06 11:56
→ ilovedandan:嗎? 我記得B270吸收帶是300nm以前 你們有需要這麼短 04/06 11:57
→ ilovedandan:嗎? 04/06 11:57
→ sudden51:我們推反射量測是空白片(沒鍍的) 這樣也會干涉嗎? 04/06 12:22
→ sudden51:另外我們使用的機台好像只能量穿透 04/06 12:23
→ sudden51:主要是因為我們設計的HR接近400 所以會看300~400 04/06 12:24
→ sudden51:會想確認是因為我們之前只修正介面反射 但300~400每次還 04/06 12:25
→ sudden51:是會出現根預期偏差現象的穿透率 所以考慮要加入吸收因素 04/06 12:26
推 Airseal:以只有穿透率這個資訊而言 R=1-T已經是最準確的計算方式了 04/06 21:03
→ Airseal:就算有消光係數,沒有精準的厚度也沒辦法計算準確的反射率 04/06 21:04
→ Airseal:若你只是想知道素基板的反射率 其實直接上網找就有了 04/06 21:05
→ Airseal:不然還有一個關鍵字為包絡法 可以得知鍍膜的光學常數及厚 04/06 21:06
→ Airseal:度,但計算所需要鍍的膜厚較厚 且僅限單層膜 對你不太適用 04/06 21:07
推 Airseal:建議直接找網路上現有的n,k database搭配你鍍膜厚度直接計 04/06 21:12
→ Airseal:算即可 04/06 21:12
→ Airseal:前提是你還是必須要知道鍍膜厚度就是了 04/06 21:13
推 Airseal:第一個問題簡單的數學推導就有了 其實對To開根號更快.. 04/06 21:40
推 Airseal:你提的公式是考慮基板內多次反射的無窮級數轉變成的展開式 04/06 21:48
→ sudden51:感謝樓上大大 其實想知道反射跟吸收是為了得到更精確穿透 04/06 22:21
→ sudden51:我有試著找過網路上空白片的資訊 甚至跟廠商要datasheet 04/06 22:22
→ sudden51:不過好像只能找到穿透率頻譜?連n值都是單一波長 04/06 22:24
→ sudden51:可能是使用的關鍵字不太對?厚度方面廠商給的參考是2mm 04/06 22:26
→ sudden51:鍍的膜厚是可以用膜厚儀量拉 不過幾乎都遠小於測試片厚度 04/06 22:28
推 Airseal:知道厚度 再去網路上找所鍍材料的n,k就可以計算反射率了 04/06 22:35
→ Airseal:你打refractive index 就可google到足夠的資訊了 04/06 22:36
→ sudden51:另外 後面恕小弟資質愚鈍 所謂對To開根號是@@? 04/06 22:37
→ Airseal:順便一提 以我手邊資料玻璃在300nm仍幾乎是無k值的 04/06 22:39
推 Airseal:基本上Tg=穿透兩次介面=To*To 所以To=sqrt(Tg) 就這樣而已 04/06 22:43
→ Airseal:算是非常粗估的方式,但也跟上面那公式相去不遠了 04/06 22:43
→ sudden51:所以沒辦法直接得知空白片反射率?要先鍍東西上去才有辦法 04/06 22:43
→ Airseal:原來是我打錯了~造成誤會不好意思囉 04/06 22:44
→ Airseal:你可以去GOOGLE 玻璃的nk datasheet就可以計算了 04/06 22:45
→ Airseal:你現在計算有誤可能是因為鍍的材料有k的關係 或是計算的方 04/06 22:45
→ Airseal:法有誤.. 04/06 22:46
→ sudden51:沒關西 可能我也沒說得很清楚 04/06 22:46
→ sudden51:我再稍微講一下 我們設計的流程是會先模擬 在模擬過程中 04/06 22:47
→ Airseal:推文太難講了~~我上面又把To跟Tg搞混了= = 04/06 22:47
→ sudden51:就會考慮材料的nk值下去優化成我們要鍍的膜厚設計 04/06 22:47
→ sudden51:所以已經有考慮材料的吸收 但是在短波長時我們會發現跑出 04/06 22:49
→ sudden51:來 跟結果有落差 趨勢是對的 但都小了一些 所以懷疑是基 04/06 22:50
→ sudden51:板吸收 尤其是300~400附近 這方面網路上資料也比較少一點 04/06 22:51
→ sudden51:在只知道穿透的情形下 長波長甚至400nm以上用公式是OK的 04/06 22:53
推 Airseal:我知道你的疑問了 但以我手邊的資料而言 落差可能不是基板 04/06 22:53
→ Airseal:造成的 而是你所鍍的材料在短波長有較大的吸收 04/06 22:53
→ sudden51:但從300~400 用那個公式計算出的反射率值卻不太合理 04/06 22:53
→ sudden51:在模擬時建立材料有輸入波長對應nk 除非有誤 不然應該會 04/06 22:55
→ sudden51:被模擬出來? 04/06 22:55
→ sudden51:所以一開始倒是沒有想到材料本身 04/06 22:58
推 Airseal:額我發現我好像誤導了 對不起 我剛剛看上面的網址 在短波 04/06 22:59
→ Airseal:長穿透率掉得非常快 你可以再下載datasheet再計算一次 04/06 23:00
→ Airseal:一開始提供錯誤資訊非常抱歉 04/06 23:03
→ sudden51:沒關西 我也是憑玻璃在短波長吸收較劇烈的印象在推斷 04/06 23:06
→ sudden51:我剛試著看了一下他算的 反射率基本上變化不大 所以吸收 04/06 23:13
→ sudden51:真的變大了@@ 04/06 23:13
→ sudden51:還是再次謝謝A大的幫忙 我會再去找些資料確認一下=) 04/06 23:19