推 broodworld: 林本堅? 06/08 01:37
http://regions.semi.org/ch/node/42596
創造半導體兩次大躍進 台積電林本堅10奈米要再衝一次
新聞來源: 電子時報 (2013.06.25)
台積電奈米影像技術研究發展副總林本堅在兩次半導體技術大轉折上，都扮演重要的
功臣，一次2002年大膽提出浸潤式微影技術衝破65奈米的撞牆期，第二次是讓微影技
術從28奈米的極限成功駛向20奈米，林本堅下一個突破半導體微影技術限制，甚至是
挑戰自我的第三次「big through」，將引領浸潤式進入10奈米製程世代！
林本堅提出以水為介質的193奈米浸潤式曝光機，是半導體製程技術可以一直微縮至
28奈米、20奈米、16奈米等先進製程的重要關鍵突破，根據IEEE統計，現今半導體產
業85%的電晶體都是用193奈米浸潤式曝光機生產。
再者，193奈米浸潤式曝光機也是半導體產業壽命最常的微影設備，對比之前248曝光
機、193乾式曝光機等，193奈米浸潤式技術可以從65奈米、40奈米、28奈米、16奈米
、10奈米製程，延續的技術製程世代相當廣。
林本堅是一個喜歡自我突破極限的人，在自己的工作職場和對創新的執著上，他有兩
次「big through」，都打破半導體製程微縮限制。
第一次是2002年全球半導體產業轉進65奈米採用傳統157奈米「乾式」曝光機面臨撞
牆期時，提出以水為介質的浸潤式技術，轉個彎採用193奈米浸潤式曝光機生產，突
破半導體產業的瓶頸。
第二個「big through」則是在這幾年。其實193奈米浸潤式曝光機做到28奈米製程幾
乎已達頂點，但林本堅再一次突破極限，成功讓浸潤式技術轉進20奈米製程，未來也
要轉進16奈米。
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這是一個院士成功的例子, 但 16, 10奈米可能還在實驗中.
個人猜想: 較短波及高密介質比較不會引起狹縫的繞射效應(偏折較大).
※ 編輯: ggg12345 (114.43.229.1), 06/08/2016 09:28:06
: → aa369aa369: 我可以告訴Shilia大：這件事一定會隨著司法落幕而落幕 06/02 00:38
: → aa369aa369: 台灣不會漁死網破啊，我們還有中國可以回歸嘛；頂多就 06/02 00:43
: → aa369aa369: 帶著百兆債務回歸中國而已；不然就亂賣故宮文物啊，一 06/02 00:43
: → aa369aa369: 個開十億，中國敢不買嗎 06/02 00:43
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故宮文物在資本主義社會與思維下, 可能可以賣一筆好價錢.
阿富汗的塔立班份子可能不這樣看.
文化大革命的破四舊就不見得對歷史文物有那麼好感, 改開後的中國大陸
是很現實的看到那些事務在一窮二白下, 還能吸引外資觀光.
窮人要典當家當換口飯吃時, 那是得看人眼色, 還靠一堆慈善為懷得好報
的鄉里迷傳. 假如帶著百億債務回歸, 就不能期望不會被賣去邊疆墾荒!
畢竟對別人無益, 如何求得別人善意回報?
假如一堆聰明人想得是這種無賴招式, 那也不能讓一群愚直的大老粗不得
拳腳相加. 這種事跟拿公共錢做研發是同樣的事. 與其如此, 還不如造個
核導彈, 保證相互毀滅, 雙方僵死! 嚴格說, 這不算是個解.
: 推 Shilia: a大謝謝您，關於政治是最高明的騙術的部分就先靜待ASCO結 06/02 10:26
: → Shilia: 束。之前跟您解釋過我算是花很長時間在研究共產國家（歐巴 06/02 10:30
: → Shilia: 馬總統上任後，他對現存的共產國家的態度基本上是努力改善 06/02 10:34
: → Shilia: 昔日敵國關係也高唱和解），他任內十次的亞洲行，很多人都 06/02 10:36
: → Shilia: 以為是為了力抗中國崛起，比較少人能看得出來其實是伊斯蘭 06/02 10:37
: → Shilia: 教是個連共產國家都很頭痛的第三次世界大戰最可能的引爆點 06/02 10:38
: → Shilia: (比方說新疆回族就是個中國一直都很頭痛的問題。) 因為伊 06/02 10:39
: → Shilia: 斯蘭教允許 "以生殖能力擴張勢力版圖"，所以好心收留伊斯 06/02 10:41
: → Shilia: 蘭教難民的國家的本國非伊斯蘭教婦女是可以被伊斯蘭教徒性 06/02 10:42
: → Shilia: 侵的... 這就是為什麼現在會有人開始討論政府或國家是不是 06/02 10:43
: → Shilia: 該強制擁有所有國民的 DNA 檔案，暴力或恐怖事件發生時便 06/02 10:43
: → Shilia: 於追查源頭，減低激進伊斯蘭教份子引爆國家內戰發生的可能 06/02 10:44
自從李大統領之後, 博士當部長, 院士帶大計畫. 似乎是讓最聰明的帶頭幹
活, 耗錢鉅大的建立新產業推動計畫都改由中研院掛帥. 最早督導工研院資
策會的是經濟部科顧室聯合各國立大學而成, 因為大學知道狀況, 所以各大
學還不會盲目亂造人才. 當院士們直接帶領產業研究計畫時, 如孔祥重最早
的雙網雙卡計畫, 參與計畫的教授無不覺得被罵的狗血淋頭, 各個被罵得慘
兮兮.
蔣介石在台灣增強的是日式士官打罵教育, 用在技職生產線強迫勞動還可以
, 但用在技術知識被封鎖的高新科技就全然失效. 何況台灣這些佔位帶頭的
博士都是留美歸國的美歸. 就算受日式訓練的也多數只留在台成中興. 清交
根本是留美幫天下. 在台時間不多的院士會犯這種錯, 其實應該是其周圍中
研院內的一群助理人員帶給他的印象與建議.
美日實驗室都有專門技術專技人員替研究人員解決道具設備問題, 但台灣的
改制大學都沒有這套支援系統, 美歸學回來能存活的都是電腦模擬, 都沒有
實作經驗. 尤其美式更是專業分工更細與技術都靠資本外購引進, 一切都靠
先進國的標準SOP做事. 一旦不是從先進國引進的, 靠的就是七拼八湊的土法
煉鋼. 院士沒在工研院待過, 自然不知問題所在.
電話手機的雙網雙卡就是讓手機加裝ethernet wifi 網卡, 理論上把一些可
共用的通訊模組共用就能解省手機成本, 就能促銷手機. 但雙網並非電信公
司所願, 使用wifi會讓通話費少收. 都會區wifi雖在台北大力推動, 但除了
公立學校對鄰近地區提供 wifi 服務外. 基地台的無線幅射不受民眾歡迎,
電信公司也不喜歡免費的wifi, 雖然進一步的WIMAX想搶佔4G的領頭規格, 台
灣雖然發了執照營運, 但最終主力的中華電信沒有加入, 就讓LTE把WIMAX給
擠下去了.
電信公司雖然不願有wifi提供免費電話, 但民間還是租用一支LTE 4G 手機,
開 wifi 基地台轉分享給其他 wifi 設備使用, 所以逼的政委出來禁"吃到
飽", 又不得民心.
院士帶頭, 只能假設是將美國實驗室連人帶設備整套搬回來, 否則只有像大
陸的錢學森全部從頭帶人訓練, 自建實驗室做起.
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生技新藥條例雖然極為特權, 但也沒有讓一堆新藥公司大量開張, 沒有大量
聘生技博, 解決問題.
台灣的資訊是土法煉鋼自己走出來的, 電子半導體則是引進國外技術, 靠資
金買先進製程設備再依靠受訓的優秀人員起來的. 但電子的市場靠的是資訊
設備先大量外銷. 而資訊的市場則是靠著學校的使用引發出大量使用而開始
起來, 教師的進用也因此而起.
台灣傳統的生技產業就是農漁業, 但新科技的基因體與新藥基本的基礎是不
足的. 土法煉鋼可能就是落後, 但要無中生有, 就必須利用已有的條件, 光
參考學習別人, 但手又長得不夠長, 那是看得卻撈不得.
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台灣可能需要一些院士帶領產業成功的實例, 否則書生無用就被落實了.
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