→ risklotus: BC下的Operating condition把reference pressure設成0 04/29 12:11
→ bboydidi: 謝謝樓上前輩!!! 04/29 16:12
請問各位前輩
我想模擬一個半導體製程的model
我的chamber需要在真空環境下作動
出口連接Pump一直抽真空
我想在出口設定pressure-outlet
但pressure-outlet的數值單位為錶壓
這樣我就算設成0也還是一大氣壓
試過輸入-1但是變成是方向逆向的1atm錶壓
要怎麼設定pressure-outlet的pressure為0 atm呢??
懇求前輩們的建議
--
※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 140.116.179.162
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Cad_Cae/M.1430209171.A.F67.html