[製程] ALD 沈積金屬薄膜（Ti/Al) 相關問題

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各位大大，感謝你們看這邊文章

想請問是否有地方可以幫忙代工沈積金屬薄膜（Ti or Al)，利用PEALD來製作。

目前實驗室機台問題為 沈積出來的Al都氧化成Al2O3，利用退火還原氣氛也沒辦法還原，
查不出原因，請問各位有什麼解決方法嗎？

感謝各位


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※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/ChemEng/M.1458319914.A.04E.html
推 cary9998: 機台不改裝前提下：前驅物管路溫度、ALD
→ cary9998:  window抓一下（基板溫度）、bi-product
→ cary9998: 移除時間增加（當然幫浦也會有影響），
→ cary9998: 你試過了嗎？
推 AQUAzero: 前驅物就有問題了吧 氧原子誰提供的咧?
→ AQUAzero: 金屬薄膜 可以用蒸的 也可以濺上去
→ AQUAzero: ALD耗時 了工 前驅物限制又多