[製程] 可以放入PECVD的耐熱夾

[cookieginger (薑餅乾)]

最近請別人幫忙代工PECVD鍍SiNx
自己對於CVD完全沒背景
鍍膜時需要使用一片不鏽鋼的遮罩
固定在1mm厚的玻璃基板上
用以定義鍍出來的SiNx面積
製成溫度攝氏300度
通入氣體有SiH4 以及氨氣
但是superuser不讓我使用真空耐熱膠帶固定遮罩
已試過用鋁箔包住遮罩以固定住->無法
用不鏽鋼的長尾夾(九成九買的)，superuser也不准
想先度整層膜再用負光阻以及遮罩定義出面積，也因爲自己家的光阻只耐100度，而熱磷酸有兩百度（還是其實不用加熱到這麼高溫）
現在superuser是說如果我可以找到化學用品的不鏽鋼夾子就可以放進去，她說九成九買的夾子就是非實驗器材，就是不能放
想請問大大們有沒有好的想法
感謝
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推 aoiogrean21: 我都是鍍完膜用光阻定義面積，接者
→ aoiogrean21: 用BOE蝕刻
→ cookieginger: 嗯嗯對啊但是我的基板是玻璃BOE不是會吃ㄇ
→ cookieginger: ？QQ
※ 編輯: cookieginger (223.138.83.32), 10/19/2016 12:50:37
→ aoiogrean21: SiN的秒數頂多1x秒，對康寧玻璃影響
→ aoiogrean21: 不大
推 aoiogrean21: 不好意思是相對，剛沒看到是1mm厚度
推 lrm549: 化學用品的不鏽鋼夾子 那你就去找廠商阿
→ lrm549: 他也不能說是搞你 單純減低外在影響因素
→ cookieginger: 廠商都沒有專門用的耐熱夾子QQ 只有
→ cookieginger: 一家說有不鏽鋼動脈夾可以讓我試試
→ cookieginger: 看但是也沒有原廠的耐熱資料 只能知
→ cookieginger: 道成分後去網路上查耐熱資料QQ 想問
→ cookieginger: 真的沒有專門用的夾子嗎？ 一個名字
→ cookieginger: 之類的QQ
→ aoiogrean21: 建議不要看耐熱資料去判斷，在低壓下
→ aoiogrean21: 不能保證常壓穩定的物質低壓也是，要
→ aoiogrean21: 讓SiN有圖形靠蝕刻應該是最簡單的吧
推 seii: 用銅線綁緊試試？