[材料] TiCu 熱膨脹係數

[jiun5367 (Harvm)]

我們想研究熱膨脹係數對應力造成的影響
我們在找各個材料的參數
但我們一直找不到TiCu & TiW
的熱膨脹係數
這兩個材料都應該是很廣泛利用在晶圓製造上
不至於找文獻都沒找到

想問各位
手邊有沒有這方面的資料
感恩不盡


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