[問題] 氣體流量控制器顯示跳動

[katpdorc (CY)]

各位大大好

實驗室裡使用氫氣鋼瓶(上有調壓閥)然後連結精密流量控制器與BROOKS的流量器100sccm


目前的問題是，當我從控制器調整流量為100sccm時，左邊顯示實際流量總是會一直跳數字
，約+-20上下。


但是如果我是設定流量為10sccm時就不會有數字跳動問題。



目前想到可能的癥結點有三個：

1.精密流量器因為年久失修所以大流量會不準

2.鋼瓶調壓筏開太小(但我不確定要開多少，我調壓閥單位是psi)

3.氣體輸送管路的螺絲有鬆脫


請大大幫幫忙QAQ

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推 JLH: 流量計有精準範圍 說明書會寫
推 adaplant: Brooks 的 MFC 一般可用壓差範圍是 5~50
→ adaplant:  psi, 100 sccm 前後壓差有個 10 psi 就
→ adaplant: 足夠
→ adaplant: 如果你系統內是常壓 鋼瓶出口壓力不要超
→ adaplant: 過 2 kg/cm^2
→ adaplant: 或 30 psi