[問題] 想請教半導體設備的製程相關問題

[justtoothick (負八)]

想請教一下半導體設備達人

小弟我現在就職於以turbo pump維修為主的公司

客戶大部分都是半導體廠，目前知道的部門有TF,DIFFUSION, ETCH, CVD

從他們公司來的pump常常會有很多製程物沉積在上面

想請問這些沉積物主要可以分為哪幾種呢?(可以從顏色或其他特徵來區分嗎?)

那半導廠在保養機台的時候，是否有特定的溶劑去對機台進行清理呢?

有的話是哪些溶劑呢?(應該不同製程有對應不同的溶劑吧?!)

希望知道的大大可以分享一下

謝謝

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推 PTTpttPTpt: 沒有實質做過Turbo pump維修並不清楚業界真正的清潔法
→ PTTpttPTpt: 但基本上那些沈積物什麼東西都有可能,而且或多或少有
→ PTTpttPTpt: 毒. 建議直接用酸吃掉pump本身最表面的金屬就好
→ PTTpttPTpt: 但Turbo會用的材質通常都耐酸...所以到底是用什麼比
→ PTTpttPTpt: 較好實在是不知道
→ lwhs: 以前在實驗室都用工業用丙醇
推 FTICR: 可是turbo pump的葉片大部分是鋁的 用酸可能有問題
推 jfsu: 實驗室是用Actone去擦拭~
推 lwhs: 大部分用 丙酮 沒錯 我記成丙醇