[問題] TSMC90nm MIM layout問題

[Goodgybank (學不會)]

因為沒有MIM電容的cell可以直接叫

因此想自己畫一個MIM來用

但現在遇到一些問題，想請問一下

我照之前0.18um的經驗畫了一個MIM

基本上0.18um只有CTM，而90nm多了CBM這個

因此我就照了0.18的畫法

M8當作bottom metal，M9當作top metal，且各自都加上了CBM及CTM

裡面用M8 via連接，然後最外層也框上綠色的CTMdummy

跑完DRC可以過

但是跑LVS時候，出現問題

http://ppt.cc/DygL

找不到top節點，不確定是不是還漏畫了一些層呢? (去定義他是一個MIM的capacitor)

layout的話pin點都有打上

netlist檔就簡單敘述，然後subckt包起來而已

C1 top bot 1pF

想請問知道MIM大概怎麼畫

或是有經驗的板友能夠指點我一下

謝謝!!


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※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Electronics/M.1425113798.A.D54.html
→ Goodgybank: 只要是lvs report裡面有waring說我的這個cell
→ Goodgybank: 他M8M9層是short circuit 因此不知道是否漏畫了東西
推 baoerking: 裡面用M8 via連接??

因為我是看.18um他M5跟M6有用via連接

因此把90的M8M9 via也畫上去

不過剛剛把via remove掉 就只剩下一個instance C1錯

感覺他似乎還是不認定我畫的是一個MIM的cap cell

※ 編輯: Goodgybank (140.113.169.128), 03/02/2015 20:08:14
→ kerkerker: .18畫via56是要把CTM連到M6，不是把M5和M6接在一起
→ Goodgybank: 所以MIM用的via 跟一般metal用的via是不同的?Y
→ Goodgybank: 但我找了一下 好像沒有其他Via能畫 也沒Via89這東西
→ kerkerker: http://imgur.com/a90mrkp
→ kerkerker: 這是.18的結構，via是一樣的，只是因為有CTM這層金屬夾
→ kerkerker: 在中間，所以不是M5接M6。
→ kerkerker: 左側示意圖則是一般的M5接M6