[問題] TCAD sentaurus MESH 問題

[yoyo50420 (tur)]

小弟sentaurus新手

最近對於mesh的code感到很疑惑

想先請問一下mesh的主要意思到底是什麼??

我手邊的講義有一行code如下:

(isedr:define-refinement-size "mesh_Substrate"   (/ Xmax 20) (/ Hsub 10) 0 (/

Xmax 30) (/ Hsub 8) 0 )

想請問後面那行/ Xmax 20.............. 是什麼意思

據我了解這可以定義mesh的大小

但是我不太懂 小弟我最近在跑某個元件的CV圖

但是好像因為我的mesh取太多(30幾萬)所以要跑超久的

請版上的大大幫我解惑一下 感謝~~

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推 deepwoody: / Xmax 20 = Xmax/20
→ deepwoody: mesh一格就是一個資料點 點越多當然越準 但要跑更久
→ yoyo50420: 我知道那個符號意思 我想知道為什麼
→ yoyo50420: 會有兩組xyz值 如果不一樣代表什麼意思
推 StringR: 你需要Sentaurus Training教材，如果你是本地安裝，裝完
→ StringR: 去看看安裝目錄裡面會有，如果遠端用NCHC的工作站，登進
→ StringR: 去翻看看，如果沒有就問問NCHC能不能打包這份資料給你
推 deepwoody: 兩組代表一條對角線 如此便能定義出矩形區域
推 kid50927: mesh最大與最小值