[問題] 離子佈植

[pttbonfire (總是被墊假的)]

在半導體製程離子佈植時 ,為什麼打入的是正離子還是可以形成N-type,
例如使用AsH3氣體,用電將打出As正離子(As原子是5族元素),在打入矽中,
為什麼還是可以形成N-type,不是已經少一個價電子了嗎?

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