[問題] CMOS乾蝕刻設備的電位請教

[InoueToro (InoueToro)]

請問有沒有版友曉得

CMOS乾蝕刻IMD, Oxide時, 蝕刻Al金屬時,

與WAFER碰觸的載台，其電位偏壓在正電位還是負電位

謝謝

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