[請益] 音頻量測

[cyclohexene (好累)]

客戶丟給我一個project請我評估能不能做

問題如下

某晶圓廠洗滌製程後段

需要把wafer 用物理式方式弄乾

故用旋轉方式

類似圖書館推車排書方式

一片一片立起來放進一個圓柱型腔體

800-1000rpm轉速去run 8-10min

只是在run的過程中wafer有時會因為高速

而脫離原本位置導致與腔體壁碰撞而碎裂去影響到其他好的wafer

客戶想用音頻監控方式去監測是否有異常狀況

1.正常旋轉下音頻就是固定

2.有異常音頻會突然變異

再透過傅利葉轉換得到波型

想請教板友們這該如何下手？

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 42.77.78.124
※ 文章網址: https://www.ptt.cc/bbs/Electronics/M.1533452485.A.2B8.html
推 qekezfeed: 也不知道是磁波還是音波 不過不舒服的時候 耳朵內的高
→ qekezfeed: 音確實聽起來不一樣
→ qekezfeed: 也不知道是不是心理影響
會用一個sensor貼在chamber wall去量測
只是這樣抓到的音頻不曉得如何去定義
這可能要由客戶端去抓了
※ 編輯: cyclohexene (42.77.78.124), 08/05/2018 15:16:32
推 corydoras09: 你有在FB問過?
→ corydoras09: 認錯了，好像不太依樣@@
→ HiJimmy: 重量會不會比較好抓? 碎掉就變輕了，而且腔體加大避免反
→ HiJimmy: 彈這樣會不會比較快
推 NTUOnline: 音頻可以做啊,只是成本問題...
→ NTUOnline: 然後還有判斷問題...
→ NTUOnline: (當然如果只是要監測到,不管哪片立刻停下來不難就是XD)
→ NTUOnline: 之前好像有人比較過貼sensor和架麥克風收音,麥克風收音
→ NTUOnline: 好很多(但成本也同時上升很多XDDD)
→ NTUOnline: 幹嘛不用加速規或光學方法去看XD 客戶這麼愛用音頻哦?
→ NTUOnline: 不然上面HiJ大的重量也不錯啊~~~XDDD
加速規跟配合廠商討論過是一個選項
光學方式...因為sensor沒辦法裝在chamber 內 光學理論上無法
音頻是客戶提出來的阿XDDDD

重量....這倒是沒想過  再跟客戶討論看看！
※ 編輯: cyclohexene (42.77.252.153), 08/07/2018 19:31:39
推 nissptt:  換卡匣不太可能，這和"蘿蔔特"綑綁了。光學可能比音頻
→ nissptt: 簡單點。做在外面，對卡匣。晶圓算小了，看過面板的spin
→ nissptt:  table才叫震撼。