→ wzmildf: 是不是光阻peeling了？ 01/29 01:57
→ wzmildf: 看你右下方整個圖形都不見了，周邊的pattern也都糊掉了 01/29 01:58
推 kurll: defect問題吧 02/04 11:27
→ stargold: 資訊太少了吧...你是用spinner上光阻？膜厚range有沒有 02/09 00:33
→ stargold: 過大？有沒有上HMDS?塗佈及顯影過程中有沒有退潮？玻璃 02/09 00:33
→ stargold: 基板底層反射有沒有考慮？霧霧的有沒有用高倍率下去看是 02/09 00:33
→ stargold: 否有許多細小孔洞？顯影是用手還是超音波震盪？顯影劑濃 02/09 00:33
→ stargold: 度？ 02/09 00:33
→ johnrunroad: 你的mask髒了吧？ 03/12 14:07
推 jonaswang01: 回覆都是老工程師了.... 03/14 22:36