→ eva19452002: 蔡司也做不出來？ 36.239.48.75 12/03 13:22
蔡司只有光學系統, 主要是在 DUV/EUV 內做反射聚光
這個中國大陸也沒辦法做到精度這麼高的
之前有個新聞是有人可以手磨 5nm 精度鏡片, 旦是這應該還離蔡司產品的精度還很遠
(話說台灣人笑是手搓 5nm 晶片就差太遠了, 只顯示很多人很蠢
※ 編輯: cc1plus (1.162.77.187 臺灣), 12/03/2024 13:27:29
※ 引述《QEMU (五條悟被腰斬了)》之銘言：
: 為啥一個14億人口的泱泱大國造不出光刻機? 中國人智商比較低嗎?
: 有沒有八卦?
: 在晶圓微影製程技術中，會將塗好光阻的晶圓藉由機械手臂傳送到曝光機中先進行對準而
: 後曝光。
: 隨著科技的進步，早期接觸式和接近式的對準機以1:1的方式將電路圖案曝光在晶圓上，但這種作法導致晶圓每次能曝光的圖案有限，2000年以後出現了能將電路圖案以
: 4:1縮小投影在晶圓上的掃描式對準機，於是晶圓的產能得到4倍以上的生產速度，同時也
: 宣布超大晶圓時代（ULSI）的來臨。
應該沒有半導體大神會在八卦版, 隨便寫寫
主要是晶圓製造的技術路徑要克服的東西比較多
目前應該是可以做到乾式光刻機 (DUV 第一代)
但是就算是 DUV 第一代放眼世界上也是不錯的成就
濕式 DUV 就多了一層水, EUV 就是極紫外光
還有光阻劑, 蝕刻沉積,
而除了光刻機以外, 其他的技術也要累積,
像是平台移動的精度和穩定度等等, 這些有些都要用到磁浮系統
後進者研發這些賺不到錢, 所以只能慢慢累積.
理論上美國應該也做不出 DUV 以上的機種, 目前 DUV
ASML/Nikon/Canon 算大宗,
EUV 僅有 ASML 一家.
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