[新聞] 中研院國內首座量子晶片製程研發平台

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1.媒體來源:

自由時報


2.記者署名:

吳俊鋒


3.完整新聞標題:

中研院國內首座量子晶片製程研發平台揭幕


4.完整新聞內文:

〔記者吳俊鋒／台南報導〕「量子國家隊」再度繳出漂亮成績單，重要成員之一的中央研
究院，今天在南部院區發表量子電腦晶片製程科學研發成果，不僅成功以8吋晶圓機台製
作高品質超導量子位元，更公開國內首座「量子晶片製程研發平台（QC-Fab）」，以及「
量子計算測試平台（QC-Test）」，熱鬧揭牌，有助於台灣在全球量子科技競賽中發揮關
鍵實力。

兩處全新建置的平台，都在南部院區的關鍵議題研究中心，主任李超煌表示，先進國家正
積極佈局量子科技，該院去年成功打造由台灣自研自製的5位元超導量子電腦，並陸續驗
證理論後，如今相關的量子設施啟用，可朝向基礎研究到實際應用的整合，希望協助台灣
於全球量子科技競賽中發揮關鍵實力。

出席揭牌典禮的中研院長廖俊智也強調，發展量子科學，必須同時投入高階製程研發人力
，以及尖端硬體設施，平台將開放全國學研界合作使用，藉由資源整合與平台共享的效益
，推動我國量子科技的發展，並吸引更多優秀人才投入量子關鍵領域的研究。

廖俊智說，中研院比別人以更短的時間、更少的經費，完成5位元量子電腦，顯示出台灣
卓越的研發能量；而研發過程中，了解到真正瓶頸在於製程的優化，以及穩定性，亦即全
世界仍缺乏能夠量產，且很均勻的高品質製程。

廖俊智提到，量子晶片與台積電等大廠的一般晶片的製程有很大差別，雖然同樣是8吋，
但現有設備都必須客製化，感謝中研院團隊，以及各合作單位的共同努力。

量子電腦專題中心執行長陳啟東簡報時指出，超導量子電腦兩個關鍵就是高品質量子晶片
與精準的位元操控；而晶片的品質仰賴先端製程技術，包含可精確控制、可重現的製程條
件，以及原子級潔淨的超導薄膜沉積與蝕課技術，還有為超導量子晶片開發的三維異質封
裝技術。

至於可實現精準位元操控的系統整合策略則是，提供量子晶片完善的電磁波屏蔽環境、具
即時參數調整與優化能力的自動化控制平台，以及整合包含參數放大器、Cryo CMOS、高
頻控制電路等次系統模組，還有透過GPU加速，實現即時位元校整、錯誤修正，並支援先
進演算法。

中研院提出了解決方案，在先進製程技術上，設計客製化8吋晶圓製程設備，以供開發新
穎量子晶片製程，目前已驗證3種不同製程（WJ、TJ、Manhattan）雛型；精準位元控制則
是建構精密的量測驗證系統，並開發自動化量軟體。

量子晶片製程研發平台為國內首座專為製造超導量子晶片所建構的8吋製程平台設施，具
完善製程能力與即時檢測設備，可支援各類型超導量子位元製程的開發，還有高品質超導
量子晶片與參數放大器研發。

內部設施有覆晶黏合機、自動打線機、晶圓切割機、旋轉蝕刻機、蒸氣式酸蝕刻機，以及
雷射直寫系統、高準直性乾式蝕刻系統、超高真空金屬氧化物濺鍍系統，還有8吋晶圓的
塗布顯影設備與半自動探針量測系統、超高解析率的掃瞄電子顯微鏡與數位光學顯微鏡。

未來將持續發展與建立三維堆疊製程技術，以打造多量子位元晶片為目標；量子計算測試
平台則建置多套完整的低溫量測系統，配備高速、高精度的量測儀器與自動化控制，能快
速最佳化量子邏輯閘操作，降低人力訓練成本。

關鍵議題研究中心助研究員柯忠廷指出，團隊已開發並測試多種晶片封裝與電磁屏蔽設計
，能提供低雜訊、高精度的量測環境，有效提升量子晶片的性能與穩定度；未來也將開放
具備可調耦合功能的5位元超導量子處理器，供上層軟體堆疊的研發使用。


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→ olaqe: 所以?台積電要跟中研院合併了?
推 yoyodiy: 正事研發武器不做  去做量子晶片 難怪
→ yoyodiy: 台灣除步槍自製武器只能國內用
推 HeavensFeel: 5位元？
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