Re: [新聞] 陸企DUV微影設備投產

[longyin (龍吟很難嗎？為什麼)]

※ 引述《l26921216 (很悠閒的生活～～)》之銘言：
: 陸企DUV微影設備投產
: https://udn.com/news/story/7333/9654508
: 2026-07-28 01:10 經濟日報／ 編譯陳律安／綜合外電
: 科技媒體The Information引述兩位知情人士報導，一家由中國大陸政府支持的企業，
已
: 啟動生產深紫外光（DUV）微影設備，若成功大量生產，可能影響微影設備大廠艾司摩
爾
: （ASML）的產品需求，拖累ASML盤中挫跌6%。消息人士透露，這家總部位於上海的企業
，
: 已從其他陸企延攬深紫外光人才，包括一家政府支持的晶片設備製造新創上海宇量昇科
技
: 。

其實浸沒式DUV的驗證機通過大陸幾大晶圓
廠驗證的消息去年就傳出來了，今年或明年
肯定能逐步開始量產。

但是大陸的duv研發企業有三家，是哪一家
或兩家，還是三家的duv通過驗證，目前還
不清楚。

而且ASML的DUV也有很多種，從1900系
列到2000細節，有七八種高中低端產品，
大陸初始的duv可能也就1900系列的能力，
還需要花幾年時間，根據晶圓廠的使用反饋
不斷改進，才能生產出更好的duv，預估
怎麼也要三五年時間。


現在美國關注的是EUV，路透社去年就從大
陸這邊搞到消息，說首台EUV的工程樣機
已經組裝好了。所以這幾個月美國政府在
拼命的懷疑是荷蘭ASML違反美國政府禁令
出賣了技術資料，本月上升到美國的部長級
高官質疑荷蘭，當然荷蘭政府和ASML堅決
否認。

當然，工程樣機，到技術完善的成品機
還有很多工作要做，還有企業內部的開發和
測試，以及進晶圓廠進行技術驗證等很多
工作，當年ASMl這一過程花了5年多時間，
經過了數個版本迭代，才生產出具備實用
能力的量產機。

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 103.77.192.218 (香港)
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※ 編輯: longyin (103.77.192.218 香港), 07/28/2026 07:43:32
→ s820912gmail: 台積電：
推 strikecbu: 0到1 跟1到N 還是有差啦
根據各方面消息看，大陸的DUV應該是
已經完成了0-1的過程，正在1-10的過程，
後續還有10-100的過程。

而EUV還處於0-1的過程。工程樣機距離
可量產的實用機型還有距離。
※ 編輯: longyin (103.77.192.218 香港), 07/28/2026 07:45:17
推 yoshiringo: !!!
推 Diaw19: 偷技術，逆向，遲早會用出來，良率高不高
→ Diaw19: 而已
推 meatmm: 覺得精密加工的逆向沒那麼簡單 做的出來和
→ meatmm: 真的能商業化還有段距離 不然高階工具機早
→ meatmm: 該被中國製佔領了 曝光機要求精度在這之上
推 peterwu4: 有沒有？美國就是這種拉基，要求ASML荷
→ peterwu4: 蘭政府不要賣機台給中國，結果中國挖走
→ peterwu4: ASML幾百號人還包含「首席」工程師，美
→ peterwu4: 國什麼也沒做，事後還找你算帳…
推 chosenone: 不用太早站隊，等真的做出來再說，
→ chosenone: 不過真做出來那天可能台積榮光也到頂了
→ chosenone: 之後可以慢慢下山了
→ chosenone: 鄉民有沒有想好電子業下坡了，要換啥工
→ chosenone: 作呢？
推 peterwu4: 三八喔，還好久，而且台灣是中國的一部
→ peterwu4: 分~ 吳鳳銜接上中國機台XD
→ peterwu4: 美國不是想幹台GG的技術嗎？ 台GG不能拒
→ peterwu4: 絕還要自願(去美國設廠)，結果它就故意
→ peterwu4: 用中國製的蝕刻機~XD 讓美國很難偷