[學術] 有關於陶瓷基薄膜鍍不上去Inconel問題

[andylu1207 (andylu1207)]

各位大大專家好
不才小弟想請問各位

陶瓷基薄膜 像是CrAlSiN這類的thin film 若鍍不上去Inconel718 想請問有甚麼方式解
決?
目前已try製成溫度與偏壓 好像都沒效

(鍍製儀器為 sputter )

另外請問氮化鉬的熱膨脹係數是多少 目前網路上找不到相關資料
若有專業的板大能解惑 深感謝意!!!!!

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