[問題] 氣體流量與壓力的問題

[qoo31751 (我是小熊)]

大家好

因為小弟實驗用機台的其中一顆氣體感測器壞了

換了一顆新的後發現流量跟壓力好像跟之前不太一樣

所以請想問一下

我們用的氣體是Ar 跟O2  氣體流量比例是1:3

那壓力是否也會是1:3

本身是讀電機的

我沒學過流體方面的東西

上網看的一些資料也不太懂

可以麻煩大家幫我解答一下嗎?

謝謝大家

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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 122.117.150.109
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→ YJM1106: 不是
可以請問一下我該怎麼去計算嗎?
麻煩你了
※ 編輯: qoo31751 (122.117.150.109), 04/22/2017 21:49:24
推 Ertkkpoo: 體積流率? 質量流率?
體積流率 單位 sccm
原本Ar是調1.9 sccm 會有 1.2 mTorr的數值
至於O2就沒注意過了 謝謝
※ 編輯: qoo31751 (122.117.150.109), 04/22/2017 22:38:23
推 lwc20717: 是用蝕刻機嗎？
RF磁控濺鍍機唷  比例沒辦法控制好 蠻麻煩的 QQ
※ 編輯: qoo31751 (122.117.150.109), 04/23/2017 01:03:21
推 gj942l41l4: Ar和O2  sputter吧  有點懷念
→ gj942l41l4: 壓力是指哪裡的壓力？  調壓閥？
推 gj942l41l4: 我看懂了  是腔體壓力？  那不能這樣算  你的真空pump
→ gj942l41l4: 同時間還在抽氣
→ gj942l41l4: 真的要確認的話   把MFC拔出來做流量校正會比較好
好唷  謝謝
剛剛發現了流量計的可以轉的最大值不一樣
一個只有到20 一個可以轉到100
不知道是我們要重新校正 還是sensor的廠牌不同...
※ 編輯: qoo31751 (140.117.165.80), 04/23/2017 13:04:17
→ gj942l41l4: 流量計不是sensor  是controller
→ gj942l41l4: 有些流量計有寫單位  不然就是照最大流量做等比例調
→ gj942l41l4: 但部分流量計數值會差很多  做個校正比較好
推 gj942l41l4: 不過是說  你要校正也要有鋼瓶可以校啦...
→ gj942l41l4: 做個製程而已不如直接試參數
我的意思是我們換了一顆sensor以後
流量計的最大值就不一樣了
我現在是有在try參數啦
做等比我倒是沒想到QQ
明天再去試試  感謝你囉
※ 編輯: qoo31751 (220.132.95.133), 04/24/2017 00:01:49