[討論] 腔體抽真空，管徑和時間的關係?

[pllywu0301 (宏宰)]

想請教各位，目前工作上要對一密閉腔體抽真空，想了解真空泵浦連接至腔體的管徑大小
與達到目標真空度的時間是否能夠用計算方式了解所需多少時間?
還有一個部份想了解一泵浦可以抽多少空間的腔體才會達到最大使用率，才不會浪費本身
泵浦的能力?
再煩請各位先進前輩指導，是否有參考資料或書籍能夠解惑?
感謝大家回覆

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→ FTICR: 多高的真空?
→ pllywu0301: 約10-4 torr左右
→ FTICR: 低真空範圍，限制會是在pump，而非管徑，設計不要把管徑
→ FTICR: 小於pump入口就好
→ FTICR: 如果只要稍小於10-3 torr用一顆2-stage oil vane pump就可
推 alpha008: -4 torr 一般的機械pump應該沒辦法達到
→ FTICR: 看用油的種類，有些可以到5*10-4
→ lukawae: 不會算的話 看廠商型錄最快
→ lukawae: 再小的PUMP都可以抽很大的槽 花多少時間而已
→ lukawae: 小PUMP抽大桶 最大PUMP抽小桶 剛好我都用過了
→ lukawae: 製程沒要求 那型錄上的建議管徑就是最直接有效率的
→ pllywu0301: 感謝回覆,看型錄真的有我需要的資訊
推 kodak: SMC 真空吸嘴型錄那 有管徑管長的計算公式
推 kyng: 機械可達到10-5 torr
→ tersefreitag: 管徑盡量不小於幫浦的進氣口，彎頭盡量少用減少管損
→ tersefreitag: 幫浦的抽速看製程的時間來決定 時間要快就選大的
推 gj942l41l4: 三樓正解  真空度不高管徑隨便配就好  瓶頸在pump
→ pllywu0301: 達到目標真空度的時間部份有辦法估算嗎?假設泵浦速率9
→ pllywu0301: 0m3/hr,針對90m3腔體處理要從1atm達到10-4torr,會需多
→ pllywu0301: 少時間?
→ FTICR: 幫浦的datasheet或說明書會有某體積下，時間對壓力的關係
推 dragon51: 小弟工廠在台中龍井，專職真空腔體/管路/零組件設計&製
→ dragon51: 造，出廠前都會經氦氣測漏儀檢測，如有需求，歡迎連絡！