[情報] 一台EUV光刻機一天耗電達3萬度

[namfish (吳溝娛)]

 據了解，目前半導體制程的主流光源是氬氟雷射，波長為 193 納米，當晶體管尺度已微
縮到幾十納米時，就像用一支粗毛筆寫蠅頭小字一般，生產起來有點力不從心。而極紫外
光的波長僅有 13.5 納米，這也使得 EUV光刻機成為了攻克7nm、5nm甚至更高制程工藝的
關鍵。

而EUV光刻機除了售價高昂之外，其耗電也是非常之驚人！

“極紫外光物理特性與一般常見的紫外光差異極大。這種光非常容易被吸收，連空氣都不
透光，所以整個生產環境必須抽成真空；同時，也無法以玻璃透鏡折射，必須以硅與鉬製
成的特殊鍍膜反射鏡，來修正光的前進方向，而且每一次反射仍會損失 3 成能量，但一
台 EUV 機台得經過十幾面反射鏡，將光從光源一路導到晶圓，最後大概只能剩下不到
 2% 的光線。”這也是 EUV 機台如此耗電的主因之一。

另外需要指出的是，如此大的耗電量也不可避免的帶來了很大的發熱量，因此需要部署相
應的冷卻系統，而這也將非常的耗電。
http://cj.sina.com.cn/article/detail/5772303575/363681?column=tech&ch=5

‧一套EUV光刻系統包含10萬個零件、3千條電線、4萬個螺栓與2公里長的軟管
‧一套EUV光刻系統重約18萬公斤
‧一套EUV光刻系統需藉由40個貨櫃、20台卡車以及3架貨機才能完成運送
‧一套EUV光刻系統包含一個重達7,600公斤的大型真空室 (vacuum chamber)
http://www.semi.org.cn/magazine/article.asp?id=2201

所以在台灣要有光刻機 應該是非常難的事吧~
電力吃緊 然後台灣又特別熱 不像韓國一樣 天氣冷好散熱
之前台媒報導台GG一口氣買了五台 不知是真是假??
一天三萬度一年就是一千萬度 五台就是五千萬度

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推 Lsamia      : 維大力?
推 op840906    : 這跟手機版有關嗎？
→ op840906    : 雖然soc跟這個有關
推 cielax      : 今天夏天又要限電囉
推 braintu     : 沒關係，台灣人有愛
推 peter120    : 挖 那台灣有這樣的環境給機器嗎...？
推 tantai99    : gg都發重訊了還在是真是假
推 chinnez     : 這麼省哦，gg還不多買幾台
噓 markmao     : 這樣一台也才1250千瓦而已吧
→ markmao     : 如果這點用電量都負擔不了台灣可以亡國了
噓 haopig      : 少見多怪
推 pujos       : 1250千瓦wow
推 iceyeman    : 不懂得 跑去抵制GG
推 wctoymr     : 用愛發電
推 kinmengon   : 電廠生電又要開始抖了！可以叫那些用愛發電的人去
→ kinmengon   : ？
推 notmuchmoney: 就5nm預計用電量是28nm的1.5倍 產值是幾倍自己算 這
→ notmuchmoney: 點電都沒辦法給 大家回去種田算了 只會韓國好棒棒不
→ notmuchmoney: 曉得是哪來的想法
→ good90150   : 臺灣還真的有可能這點電都給的很困難..用愛發電吧
推 dfgh5566    : 台灣就是負擔不了啊 不然你們全部給我用愛發電
→ namfish     : 不要夏季頻40度高溫
推 menshuei    : 不過既然這個光譜這麼容易衰減，為什麼不要用更高
→ menshuei    : 的X光呢？波長更短能夠出產更精細的半導體產品。
→ markmao     : 電化學或冶金工業 耗能隨便都超出這個數字好幾倍吧
噓 nathan2000  : 只有核能能發電??核廢料減量vs碳減量，核事故vs一
→ nathan2000  : 般電廠事故，沒有對錯只講好的就是幹話.
→ markmao     : 這點用電量在整體工業用電根本就是小兒科
→ cheeaki     : ASML NXE3100的年代，差不多iPhone 4S的時候……那
→ cheeaki     : 時就知道很耗電了好嗎………
噓 Cliffx      : 關這個板屁事
推 kimfatt     : Track+Scan 合併平均差不多6xkWh
噓 jumpout     : EUV 機台敘述才幾個字卻至少錯5個觀念, 貼這個此版
→ jumpout     : 無關還錯誤百出的新聞意義是？
→ namfish     : 所要台積電不關本版的事？
→ Exynos      : 不是直接相關，但也是間接相關，台積電是行動SoC
→ Exynos      : 代工的最大廠，照理跟手機的淵源不淺
→ Exynos      : 目前製造行動用SoC的半導體製程，就看台積電跟三星
→ Exynos      : 而已不是嗎？ 顆顆
→ namfish     : 知道真相的又不說的意思是？
→ shankstrf   : 台灣的發電有高達7成是火力發電,核能只佔1成多一點,
→ shankstrf   : 而且只用來基載和工業而已,某些人的言論讓我想到不
→ shankstrf   : 怕萬年核輻射,卻怕超低電磁波基地台
→ labbat      : 爽到天然氣發電業，搭配綠能發電下尖載當基載使用
推 lwamp       : 把不賺錢的鋼鐵廠關一關就有電了
推 gogojazz    : 真以為鋼鐵業本意在賺錢嗎…
推 lonelysin   : 一句話，讓GG自己蓋電廠，GG唯一生路。
→ koln        : 重啟核電廠？！
推 Z727808260  : 用x光？？某樓真我懂嗎？光阻只能跟uv做光鍵結呀
推 Z727808260  : 如果要用在刻印，也只能用uv當雷射，x光只會穿透
推 leung3740250: 某樓的物理要砍掉重練了吧
→ leung3740250: x逛的穿透力有多強真的不知道？
→ leung3740250: x光
→ hsinggg     : 認真問一句，這個跟手機版有點偏了吧
推 aq981334    : 以台灣目前的發電情況，根本沒資格挑要綠能還是核
→ aq981334    : 能
→ tingyu1998  : X光，你是要拿來晶體繞射嗎？XD
推 ctes940008  : X光？？？？？？
推 steven869200: GG早就在用了
→ Nordheim    : 說用x-ray能曝光的應該是文組的吧
噓 cmo2266     : 光刻機不知道是哪一個國家的用語？